[实用新型]一种球面顶针帽有效
申请号: | 201921877690.3 | 申请日: | 2019-11-01 |
公开(公告)号: | CN210778539U | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 刘朝斌;曾德祥 | 申请(专利权)人: | 乐山—菲尼克斯半导体有限公司 |
主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
代理公司: | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人: | 刘金蓉 |
地址: | 614000 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 球面 顶针 | ||
本实用新型涉及装片装置,公开一种球面顶针帽,包括用于容置顶针的帽体,帽体一端设有帽盖,帽盖为球缺且其球冠顶点凸出于帽体,帽盖上设有供顶针的针体穿过的通孔;本实用新型改变传统帽盖的结构使顶针帽能有效的分离芯片和底部贴膜。
技术领域
本实用新型涉及装片装置,具体而言,涉及一种球面顶针帽。
背景技术
芯片装片过程中,需要顶针帽吸附放置有芯片的贴片膜,顶针帽的帽体内部设置有顶针,用于将需要吸取的芯片顶出一定距离以便于芯片被吸取。
传统的顶针帽的帽盖分为两种:一种为带有环形沟槽的帽盖,另一种为平面带孔帽盖,但对于这两种帽盖面对贴膜粘性较大时均需要顶针用较大的顶出高度来提供足够的能量使芯片和贴膜分离,但是当出现较大的顶出高度时,相邻的芯片之间易发生碰撞造成芯片边缘崩裂;再者,对于芯片尺寸较大时或贴膜粘性不稳定时,芯片不易拾取,勉强拾取时,芯片发生旋转或移位,造成芯片悬挂,为了稳定的拾取芯片,不得不降低速度,损失机器产能。
公开号为CN202159655U的中国实用新型专利,具体公开了一种装片机顶针,其帽盖为光滑平面结构,当贴膜粘度较大时或者芯片尺寸较大时,不能有效的使芯片与底部贴膜分离。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种球面顶针帽,通过改变传统帽盖的结构使顶针帽能有效的分离芯片和底部贴膜。
本实用新型的实施例是这样实现的:一种球面顶针帽,包括用于容置顶针的帽体,帽体一端设有帽盖,帽盖为球缺且其球冠顶点凸出于帽体,帽盖上设有供顶针的针体穿过的通孔。
进一步的,帽盖的顶部为平面且该平面平行于球缺底面。
进一步的,通孔垂直于帽盖的底面。
进一步的,通孔以帽盖的球冠顶点为中心圆周分布,通孔的分布圈数大于等于2,帽盖的球冠顶点设有通孔。
进一步的,外圈的通孔的顶部高于帽体上顶面或与帽体的上顶面齐平。
进一步的,顶针的数量大于等于1个。
进一步的,帽体的顶面设有安装槽,帽盖的底面边缘处设有配合安装槽使用安装块。
进一步的,安装槽靠近帽体的外壁设有倒角,倒角的一边与安装块接触。
进一步的,倒角为45度倒角。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种球面顶针帽,将帽盖的结构从平板改为球缺,当顶针上顶芯片贴膜时,球缺形的帽盖能给贴膜一个轻微的形变,使芯片贴膜能有一个向下的预张力,在配合顶针向上顶,能有效的使芯片与贴膜分离。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为实施例一提供的球面顶针帽的剖视图;
图2为实施例一提供的球面帽盖的俯视图;
图3为实施例一提供的球面顶针帽的局部大样图;
图4为实施例一提供的球面顶针帽与传统帽盖的对比使用示意图;
图5为实施例二提供的球面顶针帽的剖视图;
图6为实施例三提供的球面顶针帽的剖视图;
图7为实施例四提供的球面顶针帽的剖视图;
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造