[实用新型]改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统有效
| 申请号： | 201921931037.0 | 申请日： | 2019-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN210862560U | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 王欣;刘强;周浩;何志平;舒嵘;贾建军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/255 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所 31311 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 改进型 奥夫纳尔 检验 超大 口径 球面镜 光学系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种改进型奥夫纳尔检验超大口径凹非球面镜的光学系统，包括待检凹非球面镜(1)、第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)，其特征在于，
所述光学系统的光栏位于待检凹非球面镜(1)上；由检测设备发出的光线经第一补偿透镜(2)和第二补偿透镜(3)透射后，至待检凹非球面镜(1)自准反射，再经第二补偿透镜(3)和第一补偿透镜(2)透射原路回到检测设备；
所述的第一补偿透镜(2)的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比β1＝-2.16，第一补偿透镜(2)与待检凹非球面镜(1)口径比α1＝-0.025；
所述的第二补偿透镜(3)的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比β2＝0.79，第二补偿透镜(3)与待检凹非球面镜(1)口径比α2＝-0.0075；
补偿透镜总的入射光线孔径角与出射光线孔径角之比β＝-1.71。
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