[实用新型]深孔阀座套批量沉积装置

权利要求书

1.深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：包括用于连接转轴（1）的底座（2），所述底座（2）上共轴设置有套筒（3），所述套筒（3）的上端设置有遮盖其顶部开口的顶板（4），所述套筒（3）的表面形成有至少一列和/或一组呈环形分布插孔（31），所述套筒（3）的外表面可拆卸的设置有覆盖每排或每列所述插孔（31）的盖板（5），所述盖板（5）上形成有与每个所述插孔（31）共轴的避让孔（51）。

2.根据权利要求1所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：所述底座（2）及顶板（4）上形成有插接转轴（1）的通孔（21、41），所述通孔（21、41）非圆形。

3.根据权利要求1所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：所述底座（2）包括具有高度差的上限位板（22）及下支撑板（23），所述上限位板（22）的侧壁与所述套筒（3）的内侧壁贴合，所述套筒（3）设置于所述下支撑板（23）上。

4.根据权利要求1所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：所述盖板（5）与所述套筒（3）螺接。

5.根据权利要求1所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：所述盖板（5）的一长侧面处形成有限位凸台（52），其另一长侧面处形成有高于所述限位凸台（52）的挡条（53）。

6.根据权利要求1所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：所述避让孔（51）为沉孔。

7.根据权利要求1-6任一所述的深孔阀座套批量沉积装置，其特征在于：还包括与每个所述避让孔（51）位置对应的遮挡片（6），所述遮挡片（6）具有与避让孔（51）共轴的锥形孔（61）及由锥形孔（61）的孔壁的上开口向外侧延伸的平板（62）。