[实用新型]深孔阀座套批量沉积装置

说明书

本实用新型揭示了深孔阀座套批量沉积装置，包括用于连接转轴的底座，所述底座上共轴设置有套筒，所述套筒的上端设置有遮盖其顶部开口的顶板，所述套筒的表面形成有至少一列和/或一组呈环形分布插孔，所述套筒的外表面可拆卸的设置有覆盖每排或每列所述插孔的盖板，所述盖板上形成有与每个所述插孔共轴的避让孔。本方案设计精巧，结构简单，通过在套筒上设置多个插孔以安装深孔阀座套，套筒结合底座、顶板及压板对深孔阀座套的非沉积区域进行遮蔽，从而为有效的沉积创造了条件，并且有效的实现了批量沉积。

技术领域

本实用新型涉及沉积装置，尤其是深孔阀座套批量沉积装置。

背景技术

在使用如附图1所示的深孔阀座套10时，需要对深孔阀座套顶部的深孔区域103进行耐磨涂层的沉积，从而延长其使用寿命。

但是实际沉积时，由于需要沉积的部分很小，其他不需要沉积的部分在沉积时必须有效的进行遮蔽，而目前，尚无能够有效满足这种遮蔽要求且能够实现批量沉积的沉积治具，因而极大的限制了相应沉积工作的开展。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种深孔阀座套批量沉积装置。

本实用新型的目的通过以下技术方案来实现：

深孔阀座套批量沉积装置，包括用于连接转轴的底座，所述底座上共轴设置有套筒，所述套筒的上端设置有遮盖其顶部开口的顶板，所述套筒的表面形成有至少一列和/或一组呈环形分布插孔，所述套筒的外表面可拆卸的设置有覆盖每排或每列所述插孔的盖板，所述盖板上形成有与每个所述插孔共轴的避让孔。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，所述底座及顶板上形成有插接转轴的通孔，所述通孔非圆形。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，所述底座包括具有高度差的上限位板及下支撑板，所述上限位板的侧壁与所述套筒的内侧壁贴合，所述套筒设置于所述下支撑板上。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，所述盖板与所述套筒螺接。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，所述盖板的一长侧面处形成有限位凸台，其另一长侧面处形成有高于所述限位凸台的挡条。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，所述避让孔为沉孔。

优选的，所述的深孔阀座套批量沉积装置中，还包括与每个所述避让孔位置对应的遮挡片，所述遮挡片具有与避让孔共轴的锥形孔及由锥形孔的孔壁的上开口向外侧延伸的平板。

本实用新型技术方案的优点主要体现在：

本方案设计精巧，结构简单，通过在套筒上设置多个插孔以安装深孔阀座套，套筒结合底座、顶板及压板对深孔阀座套的非沉积区域进行遮蔽，从而为有效的沉积创造了条件，并且有效的实现了批量沉积。

本方案的结构，仅有压板与套筒需要螺接，其他结构只需拼接即可，组装操作简单，便于实现，效率高。

本方案的压板的结构能够有效的遮蔽压板之间的间隙，从而避免空隙区域的沉积物造成非沉积区域的被沉积。

本方案的压板上的避让孔为沉孔，可以方便进行压板的定位，从而方便与套筒连接，有利于提高组装效率。

本方案的遮挡片可以有效的保证需沉积区域的位置精度，弥补压板和锥形孔之间的间隙，极大提高了沉积的精度。

附图说明

图 1 是本实用新型的背景技术中所述的深孔阀座套的立体图；

图 2 是本实用新型的剖视图；

图 3是本实用新型的俯视图;

图4是本实用新型的主视图；