[实用新型]一种氦气回收提纯成套设备

权利要求书

1.一种氦气回收提纯成套设备，包括回收系统、提纯系统和控制系统，其特征在于：所述回收系统包括用于收集含氦废气的气体收集罐(1)、脱硫罐(2)和脱氢罐(3)，所述气体收集罐(1)设有真空泵(11)，所述脱氢罐(3)的出气口与所述提纯系统连接，所述提纯系统包括压缩机(4)、冷却器(5)、一级膜分离器(6)和二级膜分离器(7)，所述一级膜分离器(6)设有一号放空出口和一号氦气出口(61)，所述一号氦气出口(61)与所述二级膜分离器(7)的进气口连接，所述二级膜分离器(7)设有二号放空出口(71)和二号氦气出口，所述二号放空出口(71)与所述一级膜分离器(6)的进气口连接，所述一号放空出口和所述二号氦气出口均与所述控制系统连接。

2.根据权利要求1所述的氦气回收提纯成套设备，其特征在于：所述一号放空出口设有一号浓度检测仪(62)、主出口(63)和辅助出口(64)，所述辅助出口(64)与所述一级膜分离器(6)的进气口连接，所述一号浓度检测仪(62)、所述主出口(63)和所述辅助出口(64)均与所述控制系统连接。

3.根据权利要求1所述的氦气回收提纯成套设备，其特征在于：所述二号氦气出口设有缓冲罐(72)、回收阀(73)、排放阀(74)和存储罐(75)，所述缓冲罐(72)与所述回收阀(73)之间安装有二号浓度检测仪(76)，所述回收阀(73)与所述二级膜分离器(7)的进气口连接，所述排放阀(74)与所述存储罐(75)连接，所述回收阀(73)、所述排放阀(74)和所述二号浓度检测仪(76)均与所述控制系统连接。

4.根据权利要求1所述的氦气回收提纯成套设备，其特征在于：所述气体收集罐(1)安装有除尘器和单向阀。

5.根据权利要求1所述的氦气回收提纯成套设备，其特征在于：所述真空泵(11)为无油真空泵。