[实用新型]一种用于方棒中转的机械手装置

说明书

本实用新型涉及一种用于方棒中转的机械手装置，属于半导体晶硅加工设备领域，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，能够抓取不同长度和宽度的方棒，具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。

技术领域

本实用新型属于半导体晶硅加工设备领域，具体地说涉及一种用于方棒中转的机械手装置。

背景技术

在光伏行业中，晶硅的加工涉及到制备、铸锭、切边皮、开方、磨面、抛光、倒角、切片、电池片、组件等。经过开方工序后，硅棒由圆柱形变为方形。为了去除硅棒加工过程的缺陷，减小废片率，在开方后、切片前对硅棒进行磨削加工。在磨削过程中，需要对硅棒进行夹持中转，中转过程中，如果硅棒偏差较大，会加大硅棒在磨削过程中的去除余量，增加加工时间，影响加工效率，严重时，可能会造成废棒。因此，有效减少方棒在夹持过程中的偏差，提高方棒夹持的精度对后续方棒的加工具有重要意义。

实用新型内容

针对现有技术的种种不足，本实用新型提供一种用于方棒中转的机械手装置，该装置可以实现X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，夹持精度高，最大限度的减少因为二次夹持带来的影响，保证方棒的加工效率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于方棒中转的机械手装置，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节。

进一步，所述抓手支架组件包括第一丝杠、抓手固定板和中转电机，所述第一丝杠沿着Y轴设置，所述抓手固定板与第一丝杠固连，其下方固设有两块基板固定块，所述基板固定块位于与Y轴相垂直的X、Z平面内，中转电机的输出端与第一丝杠相连，驱动抓手固定板沿Y轴方向移动。

进一步，所述基板固定块上设置有第二滑轨，且所述第二滑轨在X、Z平面内倾斜设置，抓手基板组件通过第二滑轨与基板固定块滑动连接。

进一步，所述抓手基板组件包括抓手基板、基板连接块和基板驱动组件，所述基板连接块固设于所述抓手基板的上部，且其与所述第二滑轨滑动配合，基板驱动组件驱动所述抓手基板沿着第二滑轨滑动，所述抓手基板的下底面设置有第三滑轨，且所述第三滑轨沿Y轴设置。

进一步，所述方棒夹持单元包括推板组件、方棒固定组件和缓冲组件，所述推板组件的上部与第三滑轨滑动配合，其下部设置有方棒固定组件，所述缓冲组件设置在推板组件上且其与所述方棒固定组件固连。

进一步，所述推板组件包括两个相对设置的推板，所述推板的上部与第三滑轨滑动连接，且两个推板的内侧均设置有第四滑轨，所述第四滑轨沿X轴设置，两个推板之间固设推板丝杠，推板丝杠推动推板沿第三滑轨滑动。

进一步，所述方棒固定组件包括抓板固定块和与抓板固定块固连的抓板，所述抓板固定块与所述第四滑轨滑动配合，位于两个推板上的抓板相对设置，且抓板上开设有容纳方棒的凹槽。

进一步，所述凹槽上设置有弹性材料用于保护方棒免于机械损伤。

进一步，所述缓冲组件包括间隔设置的第一固定块和第二固定块，所述第一固定块和第二固定块位于同一直线上且两者之间固设有缓冲螺钉，且所述缓冲螺钉外套设有缓冲弹簧，所述第一固定块和第二固定块分别与抓板固定块和推板固连。

进一步，所述缓冲弹簧与第四滑轨相平行设置。

本实用新型的有益效果是：