[实用新型]单晶炉自动定量真空加料系统有效
申请号: | 201922155278.7 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN211036180U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 黄蕾;包应正 | 申请(专利权)人: | 无锡港晖电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
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地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 自动 定量 真空 加料 系统 | ||
1.一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐(1),其特征在于:所述储料罐(1)的上端设置计量仓(2),所述计量仓(2)的上方设置加料仓(3),所述加料仓(3)的底部设置第一气动真空蝶阀(4)和第二气动真空蝶阀(16),所述加料仓(3)的侧面卡接吸料管(5),所述吸料管(5)的另一端卡接储料罐(1),所述加料仓(3)的顶部卡接吸气管(7),所述吸气管(7)的另一端卡接过滤器(8),所述过滤器(8)通过连接管(9)连通旋涡气泵(10),所述吸料管(5)和吸气管(7)的一端及与加料仓(3)连接的一端均设置控制阀(11),所述储料罐(1)内设置主料加料模块(12),所述计量仓(2)内设置小料加料模块(13),所述加料仓(3)内设置真空上料模块(14),所述主料加料模块(12)、小料加料模块(13)和真空上料模块(14)均电性连接PLC控制器(15),所述PLC控制器(15)电性连接控制屏(6)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:所述过滤器(8)的上方设置反吹模块,所述过滤器(8)通过螺栓固定安装在旋涡气泵(10)的一侧。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:所述计量仓(2)的底部设置出料口,所述计量仓(2)的出料口连接单晶炉,所述计量仓(2)的容量设置为30L。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:所述吸料管(5)连通加料仓(3)和储料罐(1),所述吸料管(5)连通加料仓(3)和过滤器(8)。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:所述第一气动真空蝶阀(4)设置在第二气动真空蝶阀(16)的上方,所述第一气动真空蝶阀(4)和第二气动真空蝶阀(16)均设置在计量仓的上方。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉自动定量真空加料系统,其特征在于:所述PLC控制器(15)电性连接旋涡气泵(10),所述旋涡气泵(10)电性连接控制屏(6)。
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