[实用新型]单晶炉自动定量真空加料系统有效
申请号: | 201922155278.7 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN211036180U | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 黄蕾;包应正 | 申请(专利权)人: | 无锡港晖电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/02 | 分类号: | C30B15/02;C30B15/20;C30B29/06 |
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地址: | 214000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶炉 自动 定量 真空 加料 系统 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。该装置能够实现了单晶炉原料的自助定量加料,可以稳定,可靠的满足单晶硅棒生产的要求,实现了经济、高效。
技术领域
本实用新型属于单晶炉加料技术领域,具体涉及一种单晶炉自动定量真空加料系统。
背景技术
单晶硅棒的生产,需要在高温和真空状态下连续加料,且要求生成的硅棒拉起的速率和原料添加的速率相一致,目前国内一般用人工加料的方法,不但耗费人力,还难以控制精度,以影响产品质量,所以,我们提出一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单晶炉自动定量真空加料系统,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种单晶炉自动定量真空加料系统,包括储料罐,所述储料罐的上端设置计量仓,所述计量仓的上方设置加料仓,所述加料仓的底部设置第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀,所述加料仓的侧面卡接吸料管,所述吸料管的另一端卡接储料罐,所述加料仓的顶部卡接吸气管,所述吸气管的另一端卡接过滤器,所述过滤器通过连接管连通旋涡气泵,所述吸料管和吸气管的一端及与加料仓连接的一端均设置控制阀,所述储料罐内设置主料加料模块,所述计量仓内设置小料加料模块,所述加料仓内设置真空上料模块,所述主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块均电性连接PLC控制器,所述PLC控制器电性连接控制屏。
优选的,所述过滤器的上方设置反吹模块,所述过滤器通过螺栓固定安装在旋涡气泵的一侧。
优选的,所述计量仓的底部设置出料口,所述计量仓的出料口连接单晶炉,所述计量仓的容量设置为L。
优选的,所述吸料管连通加料仓和储料罐,所述吸气管连通加料仓和过滤器。
优选的,所述第一气动真空蝶阀设置在第二气动真空蝶阀的上方,所述第一气动真空蝶阀和第二气动真空蝶阀均设置在计量仓的上方。
优选的,所述PLC控制器电性连接旋涡气泵,所述旋涡气泵电性连接控制屏。
本实用新型的技术效果和优点:该一种单晶炉自动定量真空加料系统,通过设置主料加料模块、小料加料模块和真空上料模块,能够方便对单晶炉的自动上料,主料加料实现定量连续可调,能够稳定运行,通过设置旋涡气泵,并在旋涡气泵上的过滤器上设置反吹模块,能够方便对加料仓的内部吹气清理,以保证加料仓内部的干净,通过设置PLC控制器和控制屏,能够对系统内部的温度和真空气压监控和超限报警,可实现和上位机通讯,便于生产管理,操作方便,简单。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的系统结构示意图。
图中:1、储料罐;2、计量仓;3、加料仓;4、第一气动真空蝶阀;5、吸料管;6、控制屏;7、吸气管;8、过滤器;9、连接管;10、旋涡气泵;11、控制阀;12、主料加料模块;13、小料加料模块;14、真空上料模块;15、PLC控制器;16、第二气动真空蝶阀。
具体实施方式
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