[实用新型]一种耐高温石英坩埚生产装置有效

专利信息
申请号: 201922183197.8 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN211359957U 公开(公告)日: 2020-08-28
发明(设计)人: 徐晓军;季军;许桂清 申请(专利权)人: 江阴龙源石英制品有限公司
主分类号: B08B9/28 分类号: B08B9/28;B08B13/00
代理公司: 北京华际知识产权代理有限公司 11676 代理人: 王战
地址: 214423 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 耐高温 石英 坩埚 生产 装置
【说明书】:

实用新型涉及石英坩埚生产技术领域,且公开了一种耐高温石英坩埚生产装置,包括地基,所述地基的顶部固定连接有酸洗箱,所述酸洗箱的内顶壁固定连接有氢氟酸喷淋装置本体,所述酸洗箱的内侧壁固定连接有防腐板,所述防腐板的顶部开设有漏液孔,所述防腐板的顶部活动连接有石英坩埚本体,所述酸洗箱的一侧固定连接有氢氟酸进入管,所述氢氟酸进入管的顶部固定连接有第一节液阀,所述酸洗箱的一侧固定连接有氢氟酸排出管。该耐高温石英坩埚生产装置,能够对石英坩埚本体进行充分的酸洗,以保证石英坩埚本体的使用效果和质量,该耐高温石英坩埚生产装置的使用效率得到提高,能够满足石英坩埚本体进行酸洗的需要。

技术领域

本实用新型涉及石英坩埚生产技术领域,具体为一种耐高温石英坩埚生产装置。

背景技术

石英坩埚是目前唯一可工业化用于单晶硅熔炼的容器,是单晶硅铸锭生产过程中用量最大的消耗品,也是整个单晶硅熔炼不可替代的关键材料,石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源和质量稳定等优点,应用越来越广泛,石英坩埚在生产后需要先用氢氟酸进行酸洗,取出后用喷淋系统进行清水冲洗,去除表面残余离子,因此需要一定的装置进行先酸洗,后清洗才能进行进一步的加工处理。

但是,目前的石英坩埚在生产后不能进行快速的酸洗和清洗,因而不会影响到石英坩埚成品的质量和使用效果,同时,一些酸洗装置和清洗装置距离较远,需要在酸洗后运送到清洗装置进行清洗,可能会影响石英坩埚成品的质量,浪费时间,因此,不能满足使用者的使用需求。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种耐高温石英坩埚生产装置,具备使用高效等优点,解决了一般耐高温石英坩埚生产装置使用效果差的问题。

(二)技术方案

为实现上述该耐高温石英坩埚生产装置使用高效的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种耐高温石英坩埚生产装置,包括地基,所述地基的顶部固定连接有酸洗箱,所述酸洗箱的内顶壁固定连接有氢氟酸喷淋装置本体,所述酸洗箱的内侧壁固定连接有防腐板,所述防腐板的顶部开设有漏液孔,所述防腐板的顶部活动连接有石英坩埚本体,所述酸洗箱的一侧固定连接有氢氟酸进入管,所述氢氟酸进入管的顶部固定连接有第一节液阀,所述酸洗箱的一侧固定连接有氢氟酸排出管,所述氢氟酸排出管的顶部固定连接有第二节液阀,所述酸洗箱的正面固定连接有第一合页本体,所述酸洗箱通过第一合页本体活动连接有酸洗箱密封门,所述酸洗箱密封门的正面固定连接有第一把手,所述地基的顶部固定连接有清洗箱,所述清洗箱的内顶壁固定连接有清水喷淋装置本体,所述清洗箱的内侧壁固定连接有放置板,所述放置板的顶部开设有漏水孔,所述清洗箱的一侧固定连接有进水管,所述进水管的顶部固定连接有第一节水阀,所述清洗箱的一侧固定连接有排水管,所述排水管的顶部固定连接有第二节水阀,所述清洗箱的正面固定连接有第二合页本体,所述清洗箱通过第二合页本体活动连接有清洗箱密封门,所述清洗箱密封门的正面固定连接有第二把手。

优选的,所述氢氟酸进入管的一端贯穿酸洗箱的一侧并延伸至酸洗箱的内部,且第一节液阀贯穿氢氟酸进入管,所述氢氟酸排出管的一端贯穿酸洗箱的一侧延伸至酸洗箱的内部,且第二节液阀贯穿氢氟酸排出管。

优选的,所述氢氟酸喷淋装置本体的形状大小与酸洗箱的形状大小均相互匹配,且防腐板的形状大小与酸洗箱的形状大小均相互匹配。

优选的,所述第一合页本体和酸洗箱密封门的数量分别为四个和两个,且每两个第一合页本体和一个酸洗箱密封门为一组,且两组第一合页本体和酸洗箱密封门以酸洗箱的中垂线为对称轴对称设置。

优选的,所述进水管的一端贯穿清洗箱的一侧并延伸至清洗箱的内部,且第一节水阀贯穿进水管,所述排水管的一端贯穿清洗箱的一侧并延伸至清洗箱的内部,且第二节水阀贯穿排水管。

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