[实用新型]一种槽盖热风循环烘箱

说明书

本实用新型适用于光伏用硅片加工技术领域，提供了一种槽盖热风循环烘箱，包括烘箱外壳，其内设有隔板，将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道，烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖，所述风道内安装有加热装置，槽盖上设有若干出风口，所述出风口与所述烘干腔位置相对；硅片定位装置，设置在所述烘箱外壳的烘干腔内，用于对硅片进行装夹定位；以及风循环装置，用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动，本实用新型的有益效果是：热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内，并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行，且能根据气流角度对硅片的角度进行调整，不易造成硅片被吹碎的情况。

技术领域

本实用新型涉及光伏用硅片加工技术领域，尤其涉及一种槽盖热风循环烘箱。

背景技术

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热 等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

在硅片的烘干作业中，由于硅片又脆又薄，原有的热风循环烘箱内各个地方出风不均匀，使得吹向硅片的风不均匀，有的地方风力大有的地方风力小，导致有的硅片烘不干，有的硅片被循环风吹碎。

实用新型内容

本实用新型实施例的目的在于提供一种槽盖热风循环烘箱，旨在解决背景技术中提出的技术问题。

本实用新型实施例是这样实现的，一种槽盖热风循环烘箱，包括：

烘箱外壳，其内设有隔板，将所述烘箱外壳分隔成烘干腔和风道，烘箱外壳上设有与所述风道连通的槽盖，所述风道内安装有加热装置，槽盖上设有若干出风口，所述出风口与所述烘干腔位置相对；

硅片定位装置，设置在所述烘箱外壳的烘干腔内，用于对硅片进行装夹定位；以及

风循环装置，用于使热风在所述烘干腔和风道之间循环运动。

作为本实用新型进一步的方案：所述硅片定位装置上设有万向夹装件，所述万向夹装件用于插放所述硅片，且调节所述硅片，使得硅片所在平面与热风出风方向保持平行。

作为本实用新型再进一步的方案：所述万向夹装件包括底座、万向球座和万向球，所述万向球座通过底座安装在所述硅片定位装置上，万向球与所述万向球座活动配合，所述万向球上开设有定位槽。

作为本实用新型再进一步的方案：所述硅片定位装置固定在所述放置板上，所述放置板上设有若干开孔，放置板与所述烘箱外壳抽拉配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述放置板的出风端处连接有回风滤网，所述回风滤网稳定风场，使进入到所述风循环装置的风力保持稳定。

作为本实用新型再进一步的方案：所述风循环装置包括扇叶和电机，所述扇叶处于风道与所述烘干腔的连接处，所述扇叶由电机驱动转动。

作为本实用新型再进一步的方案：所述隔板在靠近所述槽盖的位置还开设有若干副出风口，所述副出风口的出风量小于所述出风口的出风量。

作为本实用新型再进一步的方案：还包括控制装置，所述控制装置与加热装置和风循环装置连接，用于控制所述加热装置和所述风循环装置连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：空气经过加热装置的加热之后进入到槽盖内，热风从槽盖上设置的出风口均匀的进入到烘干腔内，并且热风的出风方向与硅片的所在平面保持平行，且能根据气流角度对硅片的角度进行调整，不易造成硅片被吹碎的情况，热风将硅片上的水分烘干后，再经过风循环装置进入到风道内被加热装置所加热，硅片烘干效率高，碎片率低。

附图说明

图1为一种槽盖热风循环烘箱的结构示意图。