[发明专利]碳纳米管集合体

说明书

本发明的目的在于提供在室温及高温环境下发挥出优异的夹持力的碳纳米管集合体。本发明涉及碳纳米管集合体，其是多个碳纳米管集合成片状而得的碳纳米管集合体，其中，中间部的取向度低于84％，至少一个表面部的取向度为15％以上。

技术领域

本发明涉及碳纳米管集合体。

背景技术

在半导体元件等的制造工序中，在对材料、半成品、制品等被加工物进行搬送时，使用移动臂或移动台等搬送基材对该被加工物进行搬送(例如，参见专利文献1、2)。在进行这样的搬送时，要求载置被加工物的部件(搬送固定夹具)具有使得被加工物在搬送中不偏移这样的强夹持力。另外，这样的要求伴随着制造工序高速化的要求而逐年提高。

然而，就以往的搬送固定夹具而言，通过树脂等弹性材料来保持被加工物，从而存在该弹性材料容易附着并残留于被加工物的问题。另外，树脂等弹性材料的耐热性较低，从而存在高温环境下其夹持力下降这样的问题。

若将陶瓷等材料用于搬送固定夹具，则可防止被加工物的污染，另外，夹持力的温度相关性降低。然而，由这样的材料构成的搬送固定夹具本质上夹持力较低，存在即便在常温下也无法充分保持被加工物的问题。

另外，作为在高温环境下保持被加工物的方法，可列举进行减压吸附的方法、利用搬送固定夹具的形状来固定被加工物的方法(例如，卡盘固定(chucking)、镗孔固定等)等。然而，进行减压吸附的方法仅在大气氛围下有效，无法在CVD(化学气相沉积)工序等中的真空下使用。另外，在利用搬送固定夹具的形状来固定被加工物的方法中，存在因被加工物与搬送固定夹具的接触导致被加工物受到损伤、产生颗粒等问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-351961号公报

专利文献2：日本特开2013-138152号公报

发明内容

发明所要解决的课题

作为解决上述问题的方法，考虑将具备碳纳米管集合体的粘合性构造体用于搬送固定夹具。碳纳米管集合体通常可如下得到：通过在规定基材之上形成催化剂层，在利用热、等离子体等使催化剂活化的状态下填充碳源，使碳纳米管生长的方法(化学气相沉积法)。根据这样的制造方法，可得到由从基材大致垂直地取向的碳纳米管构成的碳纳米管集合体。

但是，本申请的发明人对于将碳纳米管集合体应用于搬送固定夹具的情形反复进行了深入研究，结果发现了下述这样的课题：尤其是在高温环境下，碳纳米管集合体与被保持部件之间的夹持力急剧地下降。因此，期望在例如300℃等高温环境下也发挥出充分的夹持力的碳纳米管集合体。

本发明是鉴于上述情况而完成的发明，其课题在于提供在室温及高温环境下发挥出优异的夹持力的碳纳米管集合体。

用于解决课题的手段

本申请的发明人进一步反复进行了深入的研究，结果发现：在碳纳米管集合体中，通过控制其取向度，从而能够解决上述课题。

即，本发明的碳纳米管集合体是多个碳纳米管集合成片状而得的碳纳米管集合体，其中，中间部的取向度低于84％，至少一个表面部的取向度为15％以上。

本发明的碳纳米管集合体的一个方式中，至少一个表面部的取向度为50％以下。

本发明的碳纳米管集合体的一个方式中，厚度为300～2000μm。

本发明的碳纳米管集合体的一个方式中，至少一个表面于23℃时相对于硅晶片的最大静摩擦系数为4以上。

本发明的碳纳米管集合体的一个方式中，至少一个表面部的密度为45以下。