[发明专利]用于基板的激光辅助金属化的系统

说明书

本发明提供了一种用于制造太阳能电池的系统。所述系统包括以下项中的一者或多者：激光辅助金属化图案形成单元，所述激光辅助金属化图案形成单元适于将定位在基板上方的金属箔暴露于激光束以在所述基板上形成包括局部沉积的金属的导电接触结构；碎屑去除单元，所述碎屑去除单元适于从附接至基板的顶表面的金属箔的顶表面去除碎屑；载体附接单元，所述载体附接单元适于将载体附接至所述金属箔的一个顶表面；以及金属去除单元，所述金属去除单元适于去除所述金属箔的至少一部分及所述载体。

相关申请的交叉引用

本申请要求对2018年11月29日提交的美国临时申请第62/773,172号、2018年11月29日提交的美国临时申请第62/773,168号、2018年11月29日提交的美国临时申请第62/773,148号和2018年4月6日提交的美国临时申请第62/654,198号的优先权以及在先提交日期权益，所述美国临时申请中的每一件均据此全文以引用方式合并于本文。本申请还要求对2019年4月5日提交的美国专利申请系列第16/376,802号的优先权以及在先提交日期权益，该美国专利申请的发明名称为“使用激光束对半导体基板进行局部金属化”，代理人案卷号为131815-244461_P270US，太阳能源公司参考编号为52040US，其据此全文以引用方式合并于本文。

技术领域

本公开的实施例属于可再生能源或半导体工艺领域，并且特别地涉及形成太阳能电池的系统、工具和方法。

背景技术

光伏电池(常称为太阳能电池)是熟知的用于将太阳辐射直接转换为电能的装置。一般来讲，使用半导体加工技术在基板的表面附近形成p-n结，从而在半导体晶片或基板上制造太阳能电池。照射在基板表面上并进入基板内的太阳辐射在基板块体中形成电子和空穴对。所述电子和空穴对迁移至基板中的p掺杂区和n掺杂区，从而在掺杂区之间产生电压差。将掺杂区连接至太阳能电池上的导电区，以将电流从电池引导至与其耦接的外部电路。

电转换效率是太阳能电池的重要特性，因其直接与太阳能电池的发电能力有关；更高的效率为最终客户提供了附加价值；并且在其他所有条件相同的情况下，更高的效率也降低了每瓦特的制造成本。同样，简化的制造方法提供了通过降低生产单位成本来降低制造成本的机会。因此，用于提高太阳能电池效率的技术和用于简化太阳能电池的制造的技术是普遍需要的。

附图简要说明

图1示出了用于基板的激光辅助金属化图案形成(LAMP)的系统的平面示意图。

图2示出了用于基板的LAMP的示例性工作流程。

图3示出了激光辅助金属图案形成单元的示意图。

图4示出了用于基板的LAMP的示例性工作流程。

图5A示出了用于从太阳能电池去除碎屑的刷子设计的示意图。

图5B示出了从太阳能电池去除碎屑的平面图。

图5C示出了从太阳能电池去除碎屑的平面图。

图6A示出了用于从太阳能电池去除碎屑的摆动刷设计的平面图。

图6B示出了图6A的摆动刷设计的正视图。

图6C示出了演示刷子摆动的图6A的振荡刷设计的正视图。

图6D示出了用于从太阳能电池去除碎屑的摆动刷设计的示意图。

图7示出了用于制造太阳能电池的系统的振动刷碎屑去除单元的透视图。

图8A示出了辊刷头的透视图，该辊刷头在用于制造太阳能电池的系统的碎屑去除单元上使用。

图8B示出了图8A的辊刷头的侧正视图，该辊刷头在用于制造太阳能电池的系统的碎屑去除单元上使用。