[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于，

具备：

对对象的外周区域进行照明的外周照明部、

对对象的外周区域进行拍摄的外周拍摄部，

前述外周照明部具有圆弧型照明部，所述圆弧型照明部沿以基准轴为中心的圆周的部分区域配置而对前述基准轴上的既定区域进行照明，

前述圆弧照明部的前述基准轴在与对象的外周部延伸的切线方向正交的方向上延伸。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

前述圆弧照明部的前述基准轴在与前述切线正交的方向上延伸，前述基准轴上的前述既定区域与对象的外周区域中平坦部与该平坦部的外侧的倾斜部的边界位置或者附近所通过的部位对应。

3.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

前述圆弧照明部的前述基准轴相对于前述平坦部平行地延伸。

4.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

前述圆弧照明部被配置在绕前述基准轴的180°以下的角度范围。

5.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

前述外周照明部具有从倾斜方向对对象的外周区域中最外侧的倾斜部所通过的部位进行照明的倾斜照明部。

6.如权利要求5所述的检查装置，其特征在于，

前述倾斜照明部具有：反射部，与对象的外周区域的倾斜部所通过的部位对置地配置；光供给部，向该反射部供给照明光。

7.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

前述反射部具有光扩散性。

8.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

前述外周照明部具有垂射照明部，所述垂射照明部被组装于外周拍摄部的成像光学系统而对对象的外周区域中的平坦部进行照明。

9.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

还具备向保持部移送对象的移送部，所述保持部将对象支承于具有前述外周照明部和前述外周拍摄部的外周检查部的检查位置。

10.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

还具备多个追加检查部，利用与具有前述外周照明部和前述外周拍摄部的外周检查部不同的机构来检查对象的外周。