[发明专利]超声波切削装置在审
| 申请号： | 201980040053.7 | 申请日： | 2019-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN112262010A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 大西一正 | 申请（专利权）人： | 优威富有限公司 |
| 主分类号： | B23C3/00 | 分类号： | B23C3/00;B23C5/26;H01L21/301;B23B1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;司昆明 |
| 地址： | 日本新潟*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声波 切削 装置 | ||
1.一种超声波切削装置，其特征在于，
包括主轴、圆盘状切削件以及支承体，
前述圆盘状切削件被装配于该主轴，具备以在分别与正面侧表面和背面侧表面垂直的方向上突出的方式附设的圆环状的凸缘和与该圆环状凸缘同心圆状地附设的圆环状的压电元件，
前述支承体与上述圆环状凸缘的末端部接触，是借助朝向圆盘状切削件的两表面的压力支承圆盘状切削件的结构的支承体。
2.如权利要求1所述的超声波切削装置，其特征在于，
圆环状压电元件被装备于圆盘状切削件的表面的比圆环状凸缘靠内周侧的位置。
3.如权利要求1所述的超声波切削装置，其特征在于，
圆环状凸缘的外周端部具有与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成的端面，且与该外周端部的端面接触的支承体的接触面也与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成。
4.如权利要求1所述的超声波切削装置，其特征在于，
构成为，圆环状凸缘的外周端部具有与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成的端面，与该端面接触的支承体的接触面为与上述凸缘的外周端部的端面线接触的形状，或者与圆环状凸缘的外周端部接触的支承体的接触面与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成，该接触面处的相互的接触为线接触。
5.如权利要求1所述的超声波切削装置，其特征在于，
通过向圆盘状切削件的圆环状压电元件施加电能，圆盘状切削件在以圆环状凸缘的末端和支承体的接触面或接触线为节的圆盘状切削件的面方向上产生扩展收缩的超声波振动。
6.一种超声波切削装置，其特征在于，
包括主轴、圆盘状切削件以及支承体，
前述圆盘状切削件被装配于该主轴，具备以在分别与正面侧表面和背面侧表面垂直的方向上突出的方式附设的圆环状的凸缘，且具有沿形成于内周侧的圆形开孔的内周缘附设的圆环状压电元件，
前述支承体与上述圆环状凸缘的末端部接触，是借助朝向圆盘状切削件的两表面的压力支承圆盘状切削件的结构的支承体。
7.如权利要求6所述的超声波切削装置，其特征在于，
圆环状凸缘的外周端部具有与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成的端面，且与该外周端部的端面接触的支承体的接触面也与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成。
8.如权利要求6所述的超声波切削装置，其特征在于，
构成为，圆环状凸缘的外周端部具有与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成的端面，与该端面接触的支承体的接触面为与上述凸缘的外周端部的端面线接触的形状，或者与圆环状凸缘的外周端部接触的支承体的接触面与圆盘状切削件的正面侧表面和背面侧表面平行地形成，在该接触面处的相互的接触为线接触。
9.如权利要求6所述的超声波切削装置，其特征在于，
通过向圆盘状切削件的圆环状压电元件施加电能，圆盘状切削件在以圆环状凸缘的末端和支承体的接触面或接触线为节的圆盘状切削件的面方向上产生扩展收缩的超声波振动。
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