[发明专利]衬底输送设备

权利要求书

1.一种衬底处理设备，包括：

框架；

连接到所述框架的输送设备，所述输送设备具有上臂连杆、绕肘部轴线可旋转地联接到所述上臂连杆的前臂连杆、绕腕部轴线可旋转地联接到所述前臂连杆的至少第三臂连杆、以及绕关节轴线可旋转地联接到所述第三臂连杆的末端执行器；以及

至少二自由度驱动系统，所述至少二自由度驱动系统可操作地连接到所述上臂连杆、所述前臂连杆和所述第三臂连杆中的至少一者，以用于实现所述末端执行器的延伸和缩回，其中所述末端执行器的高度在所述腕部轴线的堆叠高度轮廓内，使得所述末端执行器和所述腕部轴线的总堆叠高度被定尺寸成符合在槽阀的穿通部内。

2.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第三臂连杆的长度小于所述上臂连杆的长度，并且所述上臂连杆的长度小于所述前臂连杆的长度。

3.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述末端执行器的旋转从动于所述前臂连杆的旋转，并且所述第三臂连杆的旋转从动于所述上臂连杆的旋转。

4.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中：

所述上臂连杆在肩部轴线处可旋转地联接到所述二自由度驱动系统；

所述末端执行器是双端末端执行器；以及

所述输送设备被构造成在所述肩部轴线的相对侧上双向延伸，而不使所述输送设备作为单元绕所述肩部轴线旋转。

5.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第三臂连杆包括槽，所述槽构造成接收所述末端执行器的至少一部分，使得所述末端执行器在所述槽内可旋转地联接到所述第三臂连杆。

6.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述末端执行器设置在所述第三臂连杆上方或下方。

7. 根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中：

所述前臂连杆是锥形构造；以及

所述上臂连杆具有配合的锥形构造，其被构造为与所述前臂连杆的锥形构造互补，使得所述上臂连杆的至少一部分和所述前臂连杆的一部分共面。

8.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第三臂连杆通过设置在所述前臂连杆内的两组前臂滑轮从动于所述上臂连杆。

9.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述输送设备的延伸和收缩轴线越过所述输送设备的肩部旋转轴线的中心。

10.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述输送设备构造成在所述输送设备的肩部轴线的相对侧上双向地延伸，其中，所述输送臂的径向延伸在所述肩部轴线的相对侧上大致对称。

11.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述末端执行器在所述输送设备的整个延伸和缩回范围内保持与延伸和缩回轴线对准。

12.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第三臂连杆在所述输送设备处于原始姿态的情况下与所述前臂连杆大致对准。

13.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述第三臂连杆由具有单个带高的带传动装置驱动。