[发明专利]衬底输送设备

说明书

一种衬底处理设备，包括框架和连接到框架的输送设备。该输送设备具有上臂连杆、绕肘部轴线可旋转地联接到上臂连杆的前臂连杆、绕腕部轴线可旋转地联接到前臂的至少第三臂连杆、以及绕关节轴线可旋转地联接到第三臂连杆的末端执行器。二自由度驱动系统可操作地连接到所述上臂连杆、所述前臂连杆和所述第三臂连杆中的至少一个，以实现所述末端执行器的延伸和缩回，其中所述末端执行器的高度在所述腕部轴线的堆叠高度轮廓内，使得所述末端执行器和所述腕部轴线的总堆叠高度被定尺寸成符合在槽阀的穿通部内。

相关申请的交叉引用

本申请是2018年5月31日提交的美国临时专利申请No. 62/678963的非临时申请，并要求其权益，该临时专利申请的公开内容通过引用以其整体并入本文中。

技术领域

示例性实施例总体上涉及自动化处理设备，并且更特别地涉及衬底输送设备。

背景技术

通常，衬底输送设备被允许延伸通过输送室闸阀进入处理模块的距离受到闸阀的尺寸的限制。通常，只有末端执行器延伸穿过闸阀，而衬底输送设备臂的其余部分保持在输送室内。

有利的是，通过输送室闸阀输送衬底，使得支撑末端执行器的臂连杆的至少一部分延伸穿过闸阀，以提供进入与输送室闸阀联接的处理模块的更大范围。

附图说明

在结合附图进行的以下描述中解释所公开的实施例的前述方面和其它特征，在附图中：

图1A至图1D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意性图示；

图1E和图1F是根据所公开的实施例的方面的图1A至图1D的衬底处理设备的部分的示意性图示；

图1G至图1M是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意性图示；

图2A至图2D是根据所公开的实施例的方面的衬底输送驱动区段的部分的示意性图示；

图3A至图3D是根据所公开的实施例的方面的衬底输送设备的示意性图示；

图4A至图4E是根据所公开的实施例的方面的衬底输送设备的部分的示意性图示；

图5A至图5F是根据所公开的实施例的方面的衬底传输设备的延伸/缩回顺序的示例性图示；

图6A至图6E是根据所公开的实施例的方面的衬底输送设备的示意性图示；

图7是根据所公开的实施例的方面的衬底输送设备的示例性操作的流程图；以及

图8是根据所公开的实施例的方面的示例性方法的流程图。

具体实施方式

图1A至图1M是根据所公开的实施例的方面的衬底处理设备的示意性图示。尽管将参考附图描述所公开的实施例的方面，但是应当理解，所公开的实施例的方面可以以许多形式实施。另外，可使用任何合适的尺寸、形状或类型的元件或材料。

所公开的实施例的方面提供了利用输送臂实现将衬底转移至处理模块的深置衬底保持站和从深置衬底保持站转移衬底的方法和设备，其中，输送臂的具有关节旋转轴线的至少第三臂连杆(也称为截断臂连杆)为输送臂提供了比具有相等或不相等的臂连杆的常规输送臂更长的范围（longer reach），如将在下面进一步详细描述的。截断臂连杆在腕部轴线(也称为腕关节)处联接到输送臂的前臂，并且其尺寸被确定成前臂和末端执行器联接到截断臂连杆，以便具有堆叠高度，所述堆叠高度允许腕部轴线穿过处理模块的闸阀穿通部（gate valve pass through）或端口。穿过闸阀端口的腕部提供前臂的一部分、腕部轴线、截断臂连杆以及末端执行器的至少一部分，以在处理室内延伸，用于接近处理模块的深置衬底保持站。