[发明专利]用于分离或分析溶液中的目标成分的方法和装置

权利要求书

1.一种溶液中的目标成分的分离方法，其包括如下工序：

准备包含目标成分的溶液和可气化所述目标成分的反应试剂的工序；

一边连续地将所述溶液和所述反应试剂向流路送液，一边间歇地向所述流路注入气泡，生成包含所述溶液和所述反应试剂的混合液被所述气泡分割为多个液滴的气液段塞流的工序；

继续进行所述流路中的所述气液段塞流的送液，由此促进各液滴中的所述溶液和所述反应试剂的混合及由此带来的所述目标成分的气化、以及由所述气化产生的源自目标成分的气体向所述气泡的移动的工序；以及，

用吸收液对移动到所述气泡的所述源自目标成分的气体进行回收的工序，

所述目标成分的气化在低于所述溶液的沸点的温度下进行，

用所述吸收液对所述源自目标成分的气体进行回收的工序通过如下方式进行：一边用气体挤出所述气液段塞流一边进行气液分离，使从所述气液段塞流中分离出的气体与所述吸收液接触。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，所述流路的至少一部分形成卷绕成螺旋状的盘管部，继续进行所述气液段塞流的送液的工序是通过所述盘管部进行的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述目标成分为Si或其化合物、和/或F或其化合物。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述源自目标成分的气体为氟化物。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述溶液包含氢氟酸，并且所述反应试剂包含硫酸。

6.一种溶液中的目标成分的分析方法，其包括如下工序：

按照权利要求1～5中任一项所述的方法，从所述溶液中分离所述目标成分的工序；以及，

对从所述溶液中分离出的所述目标成分进行定量分析的工序。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，对所述目标成分进行定量分析的工序利用吸光光度计进行。

8.一种用于权利要求1～5中任一项所述的方法的分离装置，其具备：

流路，其用于使包含目标成分的溶液和可气化所述目标成分的反应试剂流动；

溶液注入单元，其设置在所述流路的上游侧，用于向所述流路连续地注入所述溶液；

试剂注入单元，其设置在所述流路的上游侧，用于向所述流路连续地注入所述反应试剂；

气泡注入单元，其在所述流路的上游侧，并且与所述溶液注入单元和所述试剂注入单元的下游侧连接，用于间歇地向所述流路注入气泡，生成包含所述溶液和所述反应试剂的混合液被所述气泡分割为多个液滴的气液段塞流；

送液泵，其促进所述流路中的所述气液段塞流的送液，由此能够进行各液滴中的所述溶液和所述反应试剂的混合及由此带来的所述目标成分的气化、以及由所述气化产生的源自目标成分的气体向所述气泡的移动；

气液分离器，其与所述流路的下游侧端部连接，用于将包含所述源自目标成分的气体的所述气泡从所述气液段塞流中分离；以及，

回收单元，其与所述气液分离器的气体出口连接，用于使所述源自目标成分的气体吸收至吸收液来进行回收。

9.根据权利要求8所述的装置，其进一步具备送气装置，所述送气装置设置在所述流路的所述气液分离器的附近，用于向所述气液段塞流加入气体从而以能够气液分离的状态送入所述气液分离器。

10.根据权利要求8所述的装置，其中，所述流路的至少一部分卷绕成螺旋状从而形成盘管部。

11.根据权利要求8所述的装置，其中，所述流路的内径为0.05～20mm。

12.根据权利要求8所述的装置，其中，所述目标成分为Si或其化合物、和/或F或其化合物。

13.根据权利要求8所述的装置，其中，所述流路由树脂构成。