[发明专利]玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置

说明书

玻璃板(G)的制造方法具备用检查装置(10)检查玻璃板(G)的缺陷(P1～P3)的检查工序(S3)。检查装置(10)具备：拍摄装置(11)，对玻璃板(G)进行拍摄；反射光照射装置(12)，配置为照射第一光(L1)，并且第一光(L1)在玻璃板(G)的第一表面(Ga)反射，从而到达拍摄装置(11)的受光部(11a)；和透射光照射装置(13)，配置为照射第二光(L2)，并且第二光(L2)透射经过玻璃板(G)，从而到达由拍摄装置(11)拍摄的区域(G1)。透射光照射装置(13)配置为第二光(L2)的照射方向相对于与拍摄装置(11)的受光部(11a)正对的朝向而倾斜。

技术领域

本发明涉及玻璃板的制造方法以及玻璃板的制造装置，特别地，涉及检测以及识别玻璃板的缺陷的技术。

背景技术

在例如液晶显示器用的玻璃基板等玻璃板的制造方法中，具备加工玻璃板的加工工序、清洗在加工工序中被加工了的玻璃板的清洗工序、和检查在清洗工序中被清洗了的玻璃板的缺陷的检查工序(例如参照专利文献1)。对于检查工序中检测的玻璃板的缺陷，例如包括白金等异物、裂纹等损伤、气泡等。这之中裂纹等损伤被分类为表面缺陷。此外，气泡、异物根据其位置而被分类为表面缺陷或内部缺陷。

然而，在检查工序中，有要求不仅要确定缺陷的有无，连缺陷的种类也要确定的情况。然而，如果单纯地想要连缺陷的种类也确定，有检查工序所需要的时间变长，从而导致生产效率的下降之类的问题。

因此，例如在专利文献2中，提出了玻璃板的制造方法，该制造方法具备检查玻璃板的缺陷的检查工序，检查工序具有确定缺陷的坐标的缺陷坐标确定工序、和确定缺陷坐标确定工序中确定的坐标的缺陷的内容的缺陷内容确定工序。具体地，提出了如下的玻璃板的检查方法：在缺陷坐标确定工序中，使用光源和相对于光源隔着玻璃板的搬运路径而对置配置的摄像头，在检测玻璃板的缺陷的同时确定其坐标，在缺陷内容确定工序中，基于该坐标数据，用显微镜对玻璃板的缺陷进行拍摄，并确定缺陷的种类。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-141096号公报

专利文献2：日本特开2017-111033号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，如果是专利文献2所述的检查工序，则需要在缺陷的检测工序之外，通过显微镜观察来再观察一次缺陷以确定种类的工序，因而产生流水线(Line)长度增大，导致成本上升之类的问题。

鉴于以上的事情，将提供生产效率优异且能够在削减设备成本的同时正确地确定玻璃板的缺陷的种类的检查手法作为要解决的技术课题。

用于解决课题的手段

所述课题的解决通过本发明涉及的玻璃板的制造方法而达成。即，该制造方法的特征在于，是具备用检查装置来检查玻璃板的缺陷的检查工序的玻璃板的制造方法，该检查装置具备：拍摄装置，对玻璃板进行拍摄；反射光照射装置，配置为照射第一光，并且第一光在玻璃板的第一表面反射，从而到达拍摄装置的受光部；和透射光照射装置，配置为照射第二光，并且第二光透射经过玻璃板，从而到达被拍摄装置拍摄的区域，透射光照射装置配置为第二光的照射方向相对于与拍摄装置的受光部正对的朝向而倾斜。