[发明专利]光谱仪设备和用于制造光谱仪设备的方法

权利要求书

1.一种光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其具有：

光学干涉滤光器（2），所述光学干涉滤光器被构造为：在入射光线（L）穿过所述光学干涉滤光器（2）时对所述入射光线的特定的波长范围进行滤波；

探测装置（3），所述探测装置被构造为探测经滤波的光线（L）；和

聚焦装置（4a；4c），所述聚焦装置具有反射表面（5），其中所述聚焦装置（4a；4c）被构造为：通过在所述表面（5）上的反射来使所述经滤波的光线（L）聚焦到所述探测装置（3）上。

2.根据权利要求1所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其中所述探测装置（3）在所述干涉滤光器（2）的光出射侧集成到所述干涉滤光器（2）中或者直接或间接布置在所述干涉滤光器（2）上。

3.根据权利要求1或2所述的光谱仪设备（1a；1b），其中所述探测装置（3）与延伸经过所述光学干涉滤光器（2）的中心的轴线（A）至少部分地重叠。

4.根据上述权利要求中任一项所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），所述光谱仪设备具有载体装置（6a；6b；6c；6d），其中所述光学干涉滤光器（2）、所述探测装置（3）和所述聚焦装置（4a；4c）直接或间接布置在所述载体装置（6a；6b；6c；6d）上。

5.根据权利要求4所述的光谱仪设备（1c；1d），其中所述探测装置（3）在所述光学干涉滤光器（2）的光出射侧与所述干涉滤光器（2）相邻地布置在所述载体装置（6c；6d）上。

6.根据权利要求4或5所述的光谱仪设备（1b），其中所述载体装置（6b）包括至少一个间隔元件（7），所述至少一个间隔元件将所述聚焦装置（4a）与所述光学干涉滤光器（2）连接并且使所述聚焦装置与所述光学干涉滤光器彼此间隔开，其中所述至少一个间隔元件（7）至少局部具有吸收性涂层。

7.根据权利要求4至6中任一项所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其中所述探测装置（3）的表面部段和/或所述干涉滤光器（2）和/或所述载体装置（6a；6b；6c；6d）的与所述探测装置（3）相邻的表面部段至少局部具有吸收性涂层。

8.根据上述权利要求中任一项所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其中所述探测装置（3）具有环形探测器、分段的探测元件和/或阵列形布置的探测元件。

9.根据上述权利要求中任一项所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其中所述探测装置（3）具有至少两个堆叠的探测元件，所述探测元件对不同的波长范围敏感。

10.根据上述权利要求中任一项所述的光谱仪设备（1a；1b；1c；1d），其中所述光学干涉滤光器（2）构造成法布里-珀罗干涉滤光器。

11.一种用于制造光谱仪设备（1a；1b；1c；1d）的方法，所述方法具有如下步骤：

提供（S1）光学干涉滤光器（2），所述光学干涉滤光器被构造为：在入射光线（L）穿过所述光学干涉滤光器（2）时对所述入射光线的特定的波长范围进行滤波；

提供（S2）探测装置（3），所述探测装置被构造为探测经滤波的光线（L）；而且

提供（S3）聚焦装置（4a；4c），所述聚焦装置具有反射表面（5），其中所述聚焦装置（4a；4c）、所述探测装置（3）和所述光学干涉滤光器（2）相对于彼此被布置为使得所述聚焦装置（4a；4c）能够将所述经滤波的光线（L）聚焦到所述探测装置（3）上。