[发明专利]弹性波装置、分波器以及通信装置

权利要求书

1.弹性波装置，包括：

LN层，由LiNbO₃的单晶构成；

多个谐振器，具有位于所述LN层上的IDT电极；

当以所述IDT电极的电极指的指间距的两倍为λ时，所述LN层的厚度为0.3λ以下；

所述LN层的欧拉角为(0°±10°，-25°以上15°以下，0°以上360°以下)。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，所述多个谐振器包括第一谐振器以及第二谐振器；所述第一谐振器的传播角与所述第二谐振器的传播角不同。

3.根据权利要求2所述的弹性波装置，所述多个谐振器构成梯形的滤波器；

所述第一谐振器用作串联谐振器，所述第二谐振器用作并联谐振器；

当n1、n2为0～5的自然数时，所述第一谐振器的传播角为20°+60°×n1以上40°+60°×n1以下，所述第二谐振器的传播角为-10°+60°×n2以上10°+60°×n2以下。

4.根据权利要求2或3所述的弹性波装置，所述第一谐振器与所述第二谐振器之间不存在另外的谐振器。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，包括基板和位于所述基板上的多层膜；

所述IDT电极位于所述多层膜上。

6.根据权利要求4所述的弹性波装置，所述多层膜包括低声速层和高声速层；所述低声速层由SiO₂形成，所述高声速层由Ta₂O₅形成。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，所述LN层的厚度为0.1175λ以上0.22λ以下；

所述低声速层的厚度为0.065λ以上0.1375λ以下；

所述高声速层的厚度为0.055λ以上0.1175λ以下。

8.根据权利要求5～7中任一项所述的弹性波装置，所述多层膜包括：第一层；以及，第二层，所述第二层比所述第一层更靠近所述基板；且所述第一层的表面粗糙度比所述第二层的表面粗糙度小。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波装置，包括用于支撑所述LN层的基板，在所述LN层中所述多个谐振器所处的区域与所述基板之间存在空隙。

10.分波器，包括：

天线端子；

发送滤波器，用于过滤输出至所述天线端子的信号；以及，

接收滤波器，用于过滤从所述天线端子输入的信号；

所述发送滤波器以及所述接收滤波器中的至少一方，包括权利要求1～9中任一项所述的弹性波装置。

11.通信装置，包括：

天线；

权利要求10所述的分波器，所述天线端子与所述天线连接；

IC，相对于所述发送滤波器以及所述接收滤波器，在信号路径上被连接于与所述天线端子相反的一侧。