[发明专利]弹性波装置、分波器以及通信装置

说明书

[解决的问题]提供一种弹性波装置，其相对于电极指的指间距，可在相对较高的频率下实现谐振。[解决方案]弹性波装置1，包括：基板3；多层膜5，位于基板3上；LT层7，位于多层膜5上，由LiTaO₃的单晶构成；IDT电极19，位于LT层7上。当以IDT电极19的电极指27的指间距p的两倍为λ时，LN层7的厚度为0.3λ以下。LT层7的欧拉角为(0°±10°，‑25°以上15°以下，0°以上360°以下)。

技术领域

本公开涉及一种利用弹性波的弹性波装置，具备该弹性波装置的分波器以及通信装置。

背景技术

已知一种弹性波装置，用于对压电体上的IDT(InterDigital Transducer，叉指换能器)电极施加电压，以产生在压电体中传播的弹性波。IDT电极包括一对梳齿电极。一对梳齿电极被配置为互相啮合，每一个梳齿电极中均具有多个电极指(相当于梳齿)。通过弹性波装置，形成以电极指的指间距的两倍作为波长的弹性波的驻波，该驻波的频率成为谐振频率。因此，弹性波装置的谐振点由电极指的指间距所限定。

近年来，人们提出了一种弹性波装置，该弹性波装置包括：基板；声反射层，位于基板上；压电体层，位于声反射层上；以及，IDT电极，位于压电体层上。声反射层由低声阻抗层和高声阻抗层交替地层叠而成。通过这样的构造，可以将板波用作弹性波，通过在5GHz具有谐振的3μm左右的电极指的周期来实现。

发明内容

发明要解决的问题

期望提供一种相对于电极指的指间距，可实现频率相对较高的谐振的弹性波装置、分波器和通信装置。

解决问题所采用的手段

根据本公开的一方面的弹性波装置，包括：LN层，由LiNbO₃的单晶构成；IDT电极，位于所述LN层上。当所述IDT电极的电极指的指间距p的两倍为λ时，所述LN层的厚度为0.3λ以下；所述LT层的欧拉角(θ，ψ)为(0°±10°，-25°以上15°以下，0°以上360°以下)。

根据本公开的一个方面的分波器，包括：天线端子；发送滤波器，用于过滤输出至所述天线端子的信号；以及，接收滤波器，用于过滤从所述天线端子输入的信号；所述发送滤波器以及所述接收滤波器的至少一方包括上述的弹性波装置。

根据本公开的一个方面的通信装置，包括：天线；上述分波器，该分波器的所述天线端子与所述天线连接；IC，相对于所述发送滤波器以及所述接收滤波器，在信号路径上被连接于与所述天线端子相反的一侧。

发明效果

通过上述结构，相对于电极指的指间距，能够实现频率相对较高的谐振。

附图说明

图1为表示实施例中的弹性波装置的俯视图。

图2为图1中的弹性波装置沿II-II线的截面图。

图3中，图3(a)、图3(b)以及图3(c)分别为表示各实施例的谐振器的阻抗特性、相位特性、谐振频率和反谐振频率的差异的图。

图4中，图4(a)、图4(b)、图4(c)以及图4(d)分别为表示各实施例的谐振器的阻抗特性、相位特性、谐振频率、谐振频率和反谐振频率的差异以及最大相位值的图。

图5中，图5(a)、图5(b)以及图5(c)为表示多个谐振器的配置例的俯视图。

图6为表示比较例的谐振器的特性的线图。

图7中，图7(a)、图7(b)以及图7(c)与图3相对应，但LN层的厚度与图3不同。

图8中，图8(a)以及图8(b)为表示实施例的谐振器的阻抗特性以及相位特性的线图。