[发明专利]一种显影液废液处理方法

权利要求书

1.一种显影液废液处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）PH调节

在显影液废液中加入酸性溶液，调节PH值至7.5-8.5；

2）混凝沉淀

在经PH调节后的显影液废液中加入混凝剂，使析出的光刻胶凝聚为絮体；然后再加入絮凝剂，使光刻胶絮体抱团成为更密实的絮团；最后进行沉淀处理，其中沉淀污泥排入工厂废水站污泥脱水系统处理，沉淀上清液待进一步处理；

3）浓度调配

在步骤2）所得到的沉淀上清液中加入稀释水，使得显影液废液中内TMAH的浓度稀释至12000mg/L以下；

4）厌氧生化

对稀释后的显影液废液进行厌氧生化处理，降低显影液废液毒性，使得显影液废液中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气，TMAH去除率达99%以上，处理出水中氨氮浓度升高至1000-1500mg/L；

5）氨吹脱与酸吸收

对步骤4）中得到的厌氧生化反应出水进行氨吹脱与酸吸收处理，在吹脱过程中废水中高浓度氨氮由液相转移至气相，再经硫酸吸收后形成硫酸铵溶液；其中，制取的硫酸铵溶液可作为氮肥回收利用，吹脱后的废水中氨氮浓度降低至40mg/L以下，将其排入液晶显示屏工厂废水站生化系统进一步处理。

2.根据权利要求1所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤1）中所用的酸溶液为盐酸。

3.根据权利要求2所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤2）中所用的混凝剂为聚合氯化铝，投加浓度为100mg/L，混凝反应时间为15-20min。

4.根据权利要求3所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤2）中所用的絮凝剂为聚丙烯酰胺，投加浓度为3mg/L，絮凝反应时间为5-10min。

5.根据权利要求4所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤3）中的稀释水为工业自然水、工厂低浓度显影液废水或工厂废水站生化系统处理出水。

6.根据权利要求5所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤4）中厌氧生化容积负荷为4-8 kg TMAH/m³·d，厌氧生化反应温度为35-38℃，厌氧生化进水最高可承受TMAH浓度为12000mg/L。

7.根据权利要求6所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤4）包括：

4-1）在厌氧生化进水中投加碳酸钠或碳酸氢钠，控制厌氧反应出水pH值为6.8-7.2；

4-2）在厌氧生化进水中投加磷酸盐，投加浓度为10-20mg/L；

4-3）在厌氧生化反应器内投加钙盐，投加浓度为40mg/L；

4-4）在厌氧生化反应器内投加微量元素药液，投加比例按1m³厌氧生化进水投加1-2 L微量元素药液，其中微量元素药液组成为：0.8mg/L氯化钴，0.8mg/L氯化镍，0.8mg/L硫酸亚铁。

8.根据权利要求7所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤4-2）中投放的磷酸盐为磷酸二氢钾，步骤4-3）中投放的钙盐为氯化钙。

9.根据权利要求8所述的显影液废液处理方法，其特征在于，所述步骤5）包括：

5-1）在氨吹脱进水中投加氢氧化钠，将废水pH值调节为10-12；

5-2）将氨吹脱进水温度加热至45-48℃；

5-3）进行一级或两级吹脱。