[发明专利]激光扩束镜及激光加工设备

权利要求书

1.一种激光扩束镜，其特征在于，包括沿入射光束的传输方向依次设置的第一透镜、第二透镜及补偿镜组，所述第二透镜能相对于所述第一透镜移动，所述补偿镜组能相对于所述第一透镜及所述第二透镜移动，所述补偿镜组包括沿所述入射光束的传输方向依次设置的第三透镜及第四透镜，所述第三透镜与所述第四透镜相对静止；

所述第一透镜与所述第二透镜在光轴上的距离每减小1.6mm，所述激光扩束镜的扩束倍数增加0.1倍。

2.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜为弯月型正透镜，所述第二透镜为双凹型负透镜，所述第三透镜为双凹型负透镜，所述第四透镜为双凸型正透镜。

3.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，所述第三透镜与所述第四透镜间隔设置，所述第三透镜与所述第四透镜在光轴上的距离为d6，d6＝6mm，且公差范围为±2％。

4.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，所述激光扩束镜的扩束倍数为1.1-4倍。

5.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜与所述第二透镜在光轴上的距离为d2，8mm≤d2≤60mm；

所述第二透镜与所述第三透镜在光轴上的距离为d4，75mm≤d4≤110mm。

6.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，

所述第一透镜在光轴上的中心厚度为d1，d1＝3mm，且公差范围为±2％；

所述第二透镜在光轴上的中心厚度为d3，d3＝2.5mm，且公差范围为±2％；

所述第三透镜在光轴上的中心厚度为d5，d5＝4mm，且公差范围为±2％；

所述第四透镜在光轴上的中心厚度为d7，d7＝6mm，且公差范围为±2％。

7.根据权利要求1所述的激光扩束镜 ，其特征在于，所述第一透镜包括相对设置的第一曲面及第二曲面，所述第二曲面靠近所述第二透镜，所述第一曲面的曲率半径为31.98mm，且公差范围为±2％，所述第二曲面的曲率半径为93.66mm，且公差范围为±2％；

所述第二透镜包括相对设置的第三曲面及第四曲面，所述第四曲面靠近所述第三透镜，所述第三曲面的曲率半径为-24.56mm，且公差范围为±2％，所述第四曲面的曲率半径为24.56mm，且公差范围为±2％；

所述第三透镜包括相对设置的第五曲面及第六曲面，所述第六曲面靠近所述第四透镜，所述第五曲面的曲率半径为-421.09mm，且公差范围为±2％，所述第六曲面的曲率半径为96.32mm，且公差范围为±2％；

所述第四透镜包括相对设置的第七曲面及第八曲面，所述第七曲面靠近所述第三透镜，所述第七曲面的曲率半径为232.34mm，且公差范围为±2％，所述第八曲面的曲率半径为-49.17mm，且公差范围为±2％。

8.根据权利要求1所述的激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜的材料的折射率与阿贝数的比值均为1.46：67.8。

9.一种激光加工设备，其特征在于，包括激光器以及如权利要求1-8任意一项所述的激光扩束镜，所述激光器用于发出射入所述激光扩束镜的所述入射光束。

10.根据权利要求9所述的激光加工设备，其特征在于，所述入射光束的波长为515nm，所述入射光束的直径为1-6mm。