[发明专利]垂直式探针头及其分支式探针

权利要求书

1.一种垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包括：

一第一导板，形成有多个第一穿孔；

一第二导板，与所述第一导板呈间隔地设置，并且所述第二导板形成有位置分别对应于多个所述第一穿孔的多个第二穿孔，而每个所述第一穿孔的尺寸大于相对应所述第二穿孔的尺寸；以及

多个分支式探针，分别穿设于所述上导板的多个所述第一穿孔、并分别穿设于所述下导板的多个所述第二穿孔；其中，每个所述分支式探针包含有：

一传输针体，包含有穿设于相对应所述第一穿孔的一针测段、穿设于相对应所述第二穿孔的一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；及

一支臂，自所述固定段朝向所述行程段延伸所形成；其中，所述支臂的一自由端部形成有一扣持结构，所述扣持结构扣持于相对应所述第二穿孔的孔壁、并与所述传输针体的所述固定段之间留有一间距；

其中，每个所述分支式探针的所述支臂能够相对于所述传输针体的所述固定段摆动，以使得当每个所述分支式探针在植入相对应的所述第二穿孔时，所述扣持结构能通过朝所述固定段位移而进入相对应所述第二穿孔、并以一预定压力扣持于相对应所述第二穿孔的所述孔壁。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述分支式探针中，所述扣持结构包含有一抵接部、连接于所述抵接部邻近所述针测段一端的一限位部及连接于所述抵接部远离所述针测段一端的一导引部；当每个所述分支式探针在植入相对应的所述第二穿孔时，所述第二导板顶抵于所述导引部以迫使所述扣持结构朝所述固定段位移，而令相对应所述第二穿孔的所述孔壁进入所述抵接部、所述限位部及所述导引部所共同包围构成的一凹槽内。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述分支式探针中，所述行程段包含有一弹力段，并且所述扣持结构在平行所述固定段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。

4.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第二穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构以所述预定压力抵接于位于所述第二穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。

5.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第二导板的一电路匹配单元，并且所述电路匹配单元电性耦接于所述导电线路，以使相对应所述扣持结构能通过抵接于所述导电线路而电性耦接于所述电路匹配单元。

6.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述导电线路进一步限定为一接地线路。

7.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述第一导板与所述第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板与所述第二导板以外的任何导板。

8.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有一转接板以及夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，并且多个所述分支式探针的所述固定段皆固定于所述转接板，而多个所述分支式探针的所述针测段用来可分离地抵接于一待测物。

9.一种垂直式探针头的分支式探针，其特征在于，所述垂直式探针头的分支式探针包括：

一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；以及

一支臂，自所述固定段朝向所述行程段延伸所形成；其中，所述支臂的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述固定段之间留有一间距；

其中，所述分支式探针的所述支臂能够相对于所述传输针体的所述固定段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述固定段位移。

10.依据权利要求9所述的垂直式探针头的分支式探针，其特征在于，所述行程段包含有一弹力段，并且所述扣持结构在平行所述固定段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。