[发明专利]垂直式探针头及其双臂式探针

权利要求书

1.一种垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包括：

一第一导板，形成有多个第一穿孔；

一第二导板，与所述第一导板呈间隔地设置，并且所述第二导板形成有位置分别对应于多个所述第一穿孔的多个第二穿孔，而每个所述第一穿孔的尺寸大于相对应所述第二穿孔的尺寸；以及

多个双臂式探针，分别穿设于所述上导板的多个所述第一穿孔、并分别穿设于所述下导板的多个所述第二穿孔；其中，每个所述双臂式探针包含有：

一传输针体，包含有穿设于相对应所述第一穿孔的一针测段、穿设于相对应所述第二穿孔的一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；及

一延伸臂体，自邻近所述行程段的所述固定段边缘延伸至所述针测段的旁边所形成；其中，所述延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，所述扣持结构扣持于相对应所述第一穿孔的孔壁、并与所述传输针体的所述针测段之间留有一间距；

其中，每个所述双臂式探针的所述延伸臂体能够相对于所述传输针体的所述针测段摆动，以使得当每个所述双臂式探针在植入相对应的所述第一穿孔时，所述扣持结构能通过朝所述针测段位移而进入相对应所述第一穿孔、并以一预定压力扣持于相对应所述第一穿孔的所述孔壁。

2.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构包含有一抵接部、连接于所述抵接部远离所述固定段一端的一限位部及连接于所述抵接部邻近所述固定段一端的一导引部；当每个所述双臂式探针在植入相对应的所述第一穿孔时，所述第一导板顶抵于所述导引部以迫使所述扣持结构朝所述针测段位移，而令相对应所述第一穿孔的所述孔壁进入所述抵接部、所述限位部及所述导引部所共同包围构成的一凹槽内。

3.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述行程段包含有朝向所述延伸臂体延伸的一弹力段，并且所述弹力段与所述延伸臂体之间留有一间距。

4.依据权利要求3所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构与所述针测段之间的所述间距小于所述弹力段与所述延伸臂体之间的所述间距，以使得当所述针测段顶抵于一待测物时，所述弹力段能朝向所述延伸臂体变形，并且所述针测段朝向所述扣持结构位移且保持压抵于所述扣持结构。

5.依据权利要求4所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第一穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构在所述针测段顶抵于所述待测物时，其通过所述针测段的压抵而抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。

6.依据权利要求3所述的垂直式探针头，其特征在于，于每个所述双臂式探针中，所述扣持结构在平行所述针测段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。

7.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头进一步包含有设置于所述第一导板的一导电线路，并且所述导电线路延伸至一个所述第一穿孔的所述孔壁，而相对应所述扣持结构以所述预定压力抵接于位于所述第一穿孔的所述孔壁上的所述导电线路。

8.依据权利要求1所述的垂直式探针头，其特征在于，所述垂直式探针头包含有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，所述第一导板与所述第二导板彼此不相互错位设置且各为单个板体，并且所述垂直式探针头不包含所述第一导板与所述第二导板以外的任何导板。

9.一种垂直式探针头的双臂式探针，其特征在于，所述垂直式探针头的双臂式探针包括：

一传输针体，包含有一针测段、一固定段及连接所述针测段与所述固定段的一行程段；以及

一延伸臂体，自邻近所述行程段的所述固定段边缘延伸至所述针测段的旁边所形成；其中，所述延伸臂体的一自由端部形成有一扣持结构，并且所述扣持结构与所述传输针体的所述针测段之间留有一间距；

其中，所述双臂式探针的所述延伸臂体能够相对于所述传输针体的所述针测段摆动，以使得所述扣持结构能朝所述针测段位移。

10.依据权利要求9所述的垂直式探针头的双臂式探针，其特征在于，所述行程段包含有朝向所述延伸臂体延伸的一弹力段，并且所述弹力段与所述延伸臂体之间留有一间距；所述扣持结构与所述针测段之间的所述间距小于所述弹力段与所述延伸臂体之间的所述间距，并且所述扣持结构在平行所述针测段的一方向上至少局部重叠于所述弹力段。