[发明专利]324-500nm连续激光的三倍频激光器在审

专利信息
申请号: 202010165920.4 申请日: 2020-03-11
公开(公告)号: CN111342335A 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 赵儒臣;张磊;付小虎 申请(专利权)人: 宁波频准激光科技有限公司
主分类号: H01S3/109 分类号: H01S3/109;H01S5/06
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 315200 浙江省宁*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 324 500 nm 连续 激光 倍频 激光器
【权利要求书】:

1.一种324-500nm连续激光的三倍频激光器,其特征在于:波长范围在972-1500nm的大功率基频激光器(1)和三倍频模块(2),所述的三倍频模块(2)包含单通倍频模块(201)和谐振和频模块(202),所述的单通倍频模块(201)用于大功率基频光(3)单次通过周期极化倍频晶体,产生的二倍频光(4)的波长范围覆盖466-750nm;所述的谐振和频模块(202)中的谐振和频腔(8)只与二倍频激光(4)共振,剩余的大功率基频光(5)单次通过谐振腔内的腔内非线性晶体(805),谐振的二倍频光(4)与单次通过的基频光(5)和频获得大功率的三倍频连续激光(6),该三倍频激光(6)的波长范围324-500nm。

2.根据权利要求1所述的324-500nm连续激光的三倍频激光器,其特征在于:包括波长范围在972-1500nm的大功率基频激光器(1)和三倍频模块(2),所述的三倍频模块(2)包括单通倍频(4)和谐振和频(8),具体的构成包括第一半波长相位延迟器(201)、第二半波长相位延迟器(202)、第三半波长相位延迟器(203)、单通二倍频晶体(401)、第一谐波滤除镜(501)、第一高反镜(502)、第二高反镜(503)、第三高反镜(504)、第一模式匹配透镜(701)、第二模式匹配透镜(702)、第三模式匹配透镜(703)、谐振和频腔(8)、谐波分滤器(9),在所述的谐振和频腔(8)内设置非线性晶体(805),上述元器件沿光路的分布如下:

沿所述的大功率基频激光器(1)输出的基频光(10)方向依次是所述的第一半波长相位延迟器(201)、第一模式匹配透镜(701)、单通二倍频晶体(401),该单通二倍频晶体(401)的输出二倍频光(11)和残余基频光(10*),在所述的倍频激光(11)和残余基频光(10*)方向是第一谐波滤除镜(501),该第一谐波滤除镜(501)分为透射方向残余基频光(10*)和反射方向的二倍频光(11),沿所述的残余基频光(10*)方向依次是第三高反镜(504)、第四高反镜(505)、第三半波长相位延迟器(203)、第三模式匹配透镜组(703)、谐振和频腔(8)的2端口,沿所述的二倍频光(11)方向依次是所述的第一高反镜(502)、第二半波长相位延迟器(202)、第二模式匹配透镜组(702)、谐振和频腔(8)的1端口进入所述的谐振和频腔(8)并谐振增强,所述的二倍频光(11)和残余基频光(10*)经所述的非线性晶体(805)产生三倍频光(12),该三倍频光和二倍频光(11)和残余基频光(10*)经所述的谐波分滤器(9)分离后,透过所述的谐波分滤器(9)输出三倍频光(12)。

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