[发明专利]电路装置、振荡器、电子设备以及移动体

说明书

提供电路装置、振荡器、电子设备以及移动体，能够有效利用连接布线的布线区域来配置MIM构造的电容器，从而实现电路面积的缩小化等。电路装置包含：第1端子，其与振子的一端电连接；第2端子，其与振子的另一端电连接；第1连接布线，其与第1端子电连接；第2连接布线，其与第2端子电连接；振荡电路，其具有经由第1连接布线和第2连接布线对振子进行驱动的驱动电路，使振子进行振荡；以及MIM构造的第1电容器，其一个电极与第1连接布线电连接。在与形成有电路元件的基板垂直的方向上俯视观察时，第1连接布线与MIM构造的第1电容器重叠。

技术领域

本发明涉及电路装置、振荡器、电子设备以及移动体等。

背景技术

以往，公知有具有使石英振子等振子振荡的振荡电路的电路装置。在专利文献1中，公开了这样的电路装置的布局配置。在专利文献1中，公开了与振子连接的端子、供给电源的端子、电源线的布局配置方法。

专利文献1：日本特开2018-98428号公报

将与振子连接的端子和振荡电路的驱动电路连接起来的连接布线为了防止由布线电阻引起的信号衰减，优选尽量使其布线宽度变粗。另一方面，在振荡电路中，需要用于调整负载电容等的电容器，为了以较少的配置面积得到更大的电容，作为该电容器，优选使用MIM(Metal-Insulator-Metal：金属-绝缘体-金属)构造的电容器。在这种情况下，存在如何高效地对MIM构造的电容器进行布局配置的课题。

发明内容

本发明的一个方式涉及电路装置，该电路装置包含：第1端子，其与振子的一端电连接；第2端子，其与所述振子的另一端电连接；第1连接布线，其与所述第1端子电连接；第2连接布线，其与所述第2端子电连接；振荡电路，其具有经由所述第1连接布线和所述第2连接布线对所述振子进行驱动的驱动电路，通过所述驱动电路的驱动而使所述振子进行振荡；以及MIM构造的第1电容器，其一个电极与所述第1连接布线电连接，在与形成有电路元件的基板垂直的方向上俯视观察时，所述第1连接布线与所述MIM构造的所述第1电容器重叠。

附图说明

图1是本实施方式的电路装置的结构例。

图2是本实施方式的电路装置的详细结构例。

图3是振荡电路、输出电路的结构例。

图4是设置有具有可变电容元件的可变电容电路的振荡电路的结构例。

图5是可变电容电路的电压电容特性的例子。

图6是电路装置的第1布局配置例。

图7是电路装置的第2布局配置例。

图8是电路装置的第3布局配置例。

图9是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图10是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图11是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图12是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图13是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图14是示出MIM电容器的剖面结构例的图。

图15是针对与负载电容大小对应的频率可变灵敏度变化的说明图。

图16是振荡电路的详细的第1结构例。

图17是振荡电路的详细的第2结构例。

图18是振荡器的第1构造例。

图19是振荡器的第2构造例

图20是电子设备的结构例。

图21是移动体的结构例。