[发明专利]一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置

说明书

一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置，属于碳化硅长晶炉技术领域。本发明为了解决目前在清理长晶炉石英管管壁时存在的问题。本发明包括升降机构、升降机构托盘架、托盘、支架、旋转电机、联轴器、夹紧机构和刮板，所述升降机构托盘架安装在升降机构上，托盘与升降机构托盘架连接，托盘上安装有支架，所述支架为圆柱空心体，旋转电机安装在支架的腔体内，旋转电机的驱动端与联轴器连接，联轴器的另一端与夹紧机构连接，夹紧机构上安装有刮板，刮板与石英管的内壁贴合。本发明结构简单，便于拆卸，取代了传统人工清理石英管内壁容易对工作人员造成的身体伤害，和人工清理石英管内壁相比清理的更加干净，且适合大规模的生产。

技术领域

本发明涉及一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置，属于碳化硅长晶炉技术领域。

背景技术

长晶炉是用于人工合成晶体的设备，人工合成晶体生长是指物质在一定温度、压力、浓度、介质、PH等条件下由气相、液相、固相转化，形成特定线度尺寸晶体的过程。长晶炉在生长晶体后会在设备的石英管管壁上留有挥发的积炭，开炉后如果不及时清除会影响下次长晶结果。目前清理清理积炭都是人工操作，操作人员用海绵沾上氢氟酸一点一点清洗，而且操作人员在清理石英管上部时必须将身体上部钻进石英管内部才能将积炭清洗干净，目前这种清理石英管积炭的方法存在以下几点不足：

1.人工清理石英管时，石英管内部空间有限不利于人员操作，增加的工作人员的劳动强度，同时这种方法很难适应大规模的生产。

2.使用氢氟酸对人体的危害性极大，因石英管内部操作空间狭小，氢氟酸只能在管内挥发，如果稍有防护不周就有可能对操作者的身体造成伤害。

3.石英管管壁上的积炭堆积程度不同，人工清理很难做到将管壁上的积炭全部清理干净。

综上所述，亟需一种可自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置，用以解决目前人工清理长晶炉石英管管壁的积炭存在的缺陷的问题。

发明内容

本发明解决了目前人工清理石英管管壁上的积炭存在的缺陷问题。在下文中给出了关于本发明的简要概述，以便提供关于本发明的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本发明的穷举性概述。它并不是意图确定本发明的关键或重要部分，也不是意图限定本发明的范围。

本发明的技术方案：

一种能自动清洗碳化硅长晶炉积炭的装置，包括升降机构、升降机构托盘架、托盘、支架、旋转电机、联轴器、夹紧机构和刮板，所述升降机构托盘架安装在升降机构上，托盘安装在升降机构托盘架上，托盘上安装有支架，所述支架为圆柱空心体，旋转电机安装在支架的腔体内，旋转电机的驱动端与联轴器连接，联轴器的另一端与夹紧机构连接，夹紧机构上安装有刮板，刮板与石英管的内壁贴合。

进一步的，所述升降机构包括升降电机、升降电机联轴器、丝杆、丝母、支撑台、滑块、导轨和底座，升降电机的驱动端与升降电机联轴器连接，升降电机联轴器的另一端连接有丝杆，支撑台的底部安装有丝母，丝母套装在丝杆上，支撑台的底部两侧设置有滑块，滑块安装在导轨上，导轨安装在底座上。

进一步的，所述夹紧机构包括夹板连接轴和夹板，夹板上开有两个安装孔，通过夹板固定螺栓固定在夹板连接轴上，夹板的四周开有多个刮板安装孔，所述刮板相对应的位置也开有刮板安装孔，刮板通过刮板固定螺栓固定在夹板上。

进一步的，所述夹板连接轴上固定有前夹板和后夹板，前夹板和后夹板之间存有空隙，刮板插入前夹板与后夹板之间的空隙中，通过刮板固定螺栓固定。

进一步的，所述旋转电机为减速电机。

进一步的，所述托盘通过螺栓连接固定在升降机构托盘架上。

进一步的，所述支架包括第一支架和第二支架，第一支架与升降机构托盘架连接，第二支架的腔体内安装有旋转电机，第一支架与第二支架通过螺栓固定连接。