[发明专利]一种用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器

权利要求书

1.一种用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，包括泵浦源、耦合聚焦系统、激光谐振腔、翠绿宝石晶体、双折射滤光片、二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体；

泵浦源用于发射泵浦激光，耦合聚焦系统用于将泵浦源出射的泵浦激光聚焦到翠绿宝石晶体上，翠绿宝石晶体位于激光谐振腔内，用于接收耦合聚焦系统聚焦之后的泵浦激光、提供激光谐振腔内的增益；双折射滤光片位于激光谐振腔内、用于获得基于翠绿宝石晶体的744nm激光；二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体用于实现激光二倍频、三倍频，和频后得到的248nm深紫外单频激光。

2.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，所述泵浦源为蓝光半导体激光器、绿光激光器、黄光激光器和红光半导体激光器中的一种。

3.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，耦合聚焦系统为单个透镜或多个透镜，其包含的所有光学元件的两侧均镀有对泵浦光波段激光的抗反射介质膜。

4.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，翠绿宝石晶体沿c轴切割，通光截面尺寸为(1～5)mm×(1～5)mm，通光截面为光学量级抛光，通光长度为2mm～15mm，放置于TEC控制的紫铜热沉上，铜块的温度设置在5摄氏度到100摄氏度。

5.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，双折射滤光片相对于入射激光为布儒斯特角放置，两侧均未镀膜，其厚度为0.5mm-7mm；双折射滤光片的两个表面是相互平行的，其光轴平行于双折射滤光片表面，入射激光以布儒斯特角入射到双折射滤光片的表面并在其内部传播，通过调节光轴方向获得基于翠绿宝石晶体的744nm激光。

6.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，二倍频非线性晶体为角度相位匹配或温度相位匹配的RDP、KD^*P、BBO、LBO中的一种非线性光学晶体，晶体两端面均镀有对744nm、372nm和248nm的增透膜；

优选的，三倍频非线性晶体为角度相位匹配或温度相位匹配的BBO、KDP、LBO中的一种非线性光学晶体，晶体两端面均镀有对744nm、372nm和248nm的增透膜。

7.根据权利要求1所述的用于KrF准分子激光器基于翠绿宝石晶体的248nm单频全固态深紫外种子激光器，其特征在于，激光谐振腔内设有调Q器件，调Q器件放置在激光谐振腔之内，用于实现脉冲激光输出，调Q器件为声光调Q器件、电光调Q器件或被动调Q器件中的一种，目标参数为实现重频6kHz和脉宽20ns的单频深紫外脉冲激光输出。