[发明专利]显示基板及其制作方法、显示装置

权利要求书

1.一种显示基板，其特征在于，包括衬底基板、设置在所述衬底基板上的驱动电路层和发光单元，所述驱动电路层包括第一栅金属层，所述第一栅金属层的图形包括栅线，所述第一栅金属层包括：

电阻率小于第一阈值，杨氏模量小于第二阈值的第一导电层；

位于所述第一导电层远离所述衬底基板一侧的第一导电保护层。

2.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一阈值为5微欧·厘米，所述第二阈值为130Gpa。

3.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一导电层为Al或Al的合金。

4.根据权利要求3所述的显示基板，其特征在于，所述Al的合金包括以下至少一种元素：Ce、Zr、Sc、Mn、Ni、La。

5.根据权利要求1所述的显示基板，其特征在于，所述第一栅金属层还包括位于所述第一导电层靠近所述衬底基板一侧的第二导电保护层。

6.根据权利要求5所述的显示基板，其特征在于，所述第一导电保护层采用TiN，所述第二导电保护层采用TiN。

7.根据权利要求5所述的显示基板，其特征在于，所述第一导电层的厚度为300-500nm，所述第一导电保护层的厚度为30-50nm，所述第二导电保护层的厚度为30-50nm。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的显示基板，其特征在于，所述驱动电路层还包括位于所述第一栅金属层远离所述衬底基板一侧的第二栅金属层，所述第二栅金属层的图形包括存储电容的极板，第二栅金属层的组成与所述第一栅金属层的组成一致。

9.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求1-8中任一项所述的显示基板。

10.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括在衬底基板形成驱动电路层和发光单元，所述驱动电路层包括第一栅金属层，所述第一栅金属层的图形包括栅线，形成所述第一栅金属层包括：

形成电阻率小于第一阈值，杨氏模量小于第二阈值的第一导电层；

在所述第一导电层远离所述衬底基板的一侧形成第一导电保护层。