[发明专利]基于波导结构的太赫兹调制器及系统

权利要求书

1.一种基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述太赫兹调制器包括：衬底、波导、多条凸起结构和填充部；所述波导设置在所述衬底的一侧，多条所述凸起结构分别平行设置在所述波导远离所述衬底的一侧，所述填充部填充在相邻两个凸起结构之间，其中，所述填充部的材料为钙钛矿材料。

2.根据权利要求1所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述太赫兹调制器还包括二氧化硅膜，所述二氧化硅膜蒸镀在所述填充部远离所述衬底的一侧。

3.根据权利要求1所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述太赫兹调制器还包括垫层，所述垫层包括多个条形垫层，每个所述条形垫层分别设置在所述波导与所述凸起结构之间。

4.根据权利要求2或3所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述太赫兹调制器还包括反射层70，所述反射层涂覆在所述凸起结构的两侧。

5.根据权利要求4所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述反射层的材料为石墨烯。

6.根据权利要求1所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，所述波导的材料为石墨烯和蓝宝石中任意一种。

7.根据权利要求1所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，多条所述凸起结构的材料为铝。

8.根据权利要求1所述的基于波导结构的太赫兹调制器，其特征在于，多条所述凸起结构周期性设置在所述波导远离所述衬底的一侧。

9.一种基于波导结构的太赫兹调制系统，其特征在于，所述太赫兹调制系统包括：光泵浦、太赫兹检测装置和权利要求1-8任意一项所述的太赫兹调制器，所述光泵浦用于照射所述填充部，所述太赫兹检测装置设置在所述波导的出射口，用于接收并检测出射波导。