[发明专利]具有石英底座的精密陶瓷工作台

权利要求书

1.一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，其特征在于，包含：

多通孔精密陶瓷盘，所述的多通孔精密陶瓷盘具有数个通孔，各个通孔贯通于所述的多通孔精密陶瓷盘的上表面及下表面之间，所述的多通孔精密陶瓷盘的该上表面为工件吸附面；以及

石英底座，所述的石英底座为石英材料，所述的石英底座自上至下具有容置凹部、数个气体流道以及贯通孔，各个所述的气体流道空气连通于所述的容置凹部，各个所述的气体流道为相互地空气连通，至少一个所述的气体流道为空气连通于所述的贯通孔，所述的贯通孔贯通于所述的石英底座的下表面及所述至少一个所述的气体流道，所述的多通孔精密陶瓷盘为箝置于所述的容置凹部中，所述的贯通孔经由贯通所述的石英底座的该下表面而在所述的石英底座的该下表面形成开口，所述的开口为连接于空气泵以使所述的空气泵通过所述的贯通孔、各个所述的气体流道、及所述的多通孔精密陶瓷盘的数个该通孔而在所述的工件吸附面形成吸附力，所述的石英底座的至少部分的表面为经抛光处理。

2.根据权利要求1的精密陶瓷工作台，其特征在于，所述的石英底座除了所述的容置凹部的表面以外的上表面及下表面为经抛光的表面。

3.根据权利要求1的精密陶瓷工作台，其特征在于，经抛光处理的该表面的算术平均粗度为不超过0.02A。

4.根据权利要求1的精密陶瓷工作台，其特征在于，所述的气体流道为自所述的容置凹部凹下。

5.根据权利要求1的精密陶瓷工作台，其特征在于，所述的石英底座以所述的贯通孔而为中心对称。

6.根据权利要求1的精密陶瓷工作台，其特征在于，所述的气体流道为以左右对称及前后对称的方式而分布。