[发明专利]具有石英底座的精密陶瓷工作台

说明书

本发明涉及一种精密陶瓷工作台，包含：多通孔精密陶瓷盘以及石英底座。多通孔精密陶瓷盘为多孔，且多通孔精密陶瓷盘的该上表面为工件吸附面。多通孔精密陶瓷盘为箝置于石英底座。该石英底座的至少部分的表面为经抛光处理，以避免激光的能量对石英底座造成破坏。

技术领域

本发明涉及一种精密陶瓷工作盘，特别是涉及一种具有石英底座的精密陶瓷工作台。

背景技术

精密陶瓷工作盘是一种吸附工件以便于进行加工的器具。精密陶瓷工作盘利用空气泵抽气而在多通孔精密陶瓷盘的工件吸附面上产生吸附工件的吸力。由此，使得工件的位置固定。空气泵也可以对精密陶瓷工作盘提供空气，而使得工件解除吸附甚至是悬浮在精密陶瓷工作盘上。

现有的精密陶瓷工作盘的底座常用的材料之一为陶瓷。在切割工艺中，激光有机会照射到陶瓷底座，使得激光的能量会对陶瓷底座的表面造成破坏。因此，在多次使用之下，需频繁地取下陶瓷底座并对陶瓷底座进行重工，在重工数次后即需更换，造成成本的提高以及效率低落。除此之外，激光的能量也会使得陶瓷底座产生陶瓷粉尘，而对产品的良率造成影响。

发明内容

因此，本发明的目的即在提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，能避免激光的能量对底座造成破坏。

本发明为解决现有技术的问题所采用的技术手段提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，包含：多通孔精密陶瓷盘，该多通孔精密陶瓷盘具有数个通孔，各个通孔贯通于该多通孔精密陶瓷盘的上表面及下表面之间，该多通孔精密陶瓷盘的该上表面为工件吸附面；以及石英底座，该石英底座为石英材料，该石英底座自上至下具有容置凹部、数个气体流道以及贯通孔，各个该气体流道空气连通于该容置凹部，各个该气体流道为相互地空气连通，至少一个该气体流道为空气连通于该贯通孔，该贯通孔贯通于该石英底座的下表面及所述至少一个该气体流道，该多通孔精密陶瓷盘为箝置于该容置凹部中，该贯通孔经由贯通该石英底座的该下表面而在该石英底座的该下表面形成开口，该开口为连接于空气泵以使该空气泵通过该贯通孔、各个该气体流道、及该多通孔精密陶瓷盘的数个该通孔而在该工件吸附面形成吸附力，该石英底座的至少部分的表面为经抛光处理。

在本发明的一实施例中提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，该石英底座除了该容置凹部的表面以外的上表面及下表面为经抛光的表面。

在本发明的一实施例中提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，经抛光处理的该表面的算术平均粗度为不超过0.02A。

在本发明的一实施例中提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，该气体流道为自该容置凹部凹下。

在本发明的一实施例中提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，该石英底座以该贯通孔而为中心对称。

在本发明的一实施例中提供一种具有石英底座的精密陶瓷工作台，该气体流道为以左右对称及前后对称的方式而分布。

经由本发明的具有石英底座的精密陶瓷工作台所采用的技术手段，石英底座为透明的石英材料，且石英底座的表面经抛光，使得激光在照射到石英底座时，绝大部分激光会穿过石英底座。因此，激光的绝大部分能量不会作用在石英底座，而避免对石英底座造成破坏。相较于现有使用陶瓷材料的底座的精密陶瓷工作盘，本发明的精密陶瓷工作台无需频繁地取下石英底座并对石英底座进行重工，而具有较佳的工作效率，以及降低替换底座的成本。除此之外，在受激光照射之下，因激光会穿过石英底座，石英底座不会受到破坏而产生粉尘，能避免粉尘对产品的良率造成影响。

附图说明

图1为显示根据本发明的一实施例的具有石英底座的精密陶瓷工作台的俯视示意图。

图2为显示根据本发明的图1的实施例的具有石英底座的精密陶瓷工作台的A-A剖面示意图。

图3为显示根据本发明的实施例的具有石英底座的精密陶瓷工作台的石英底座的俯视示意图。