[发明专利]一种石墨切片的高精度抛光设备

说明书

本发明属于石墨产品加工设备技术领域，具体公开了一种石墨切片的高精度抛光设备，包括机架、工作台和打磨组件。通过在工作台表面开设小孔进行抽真空吸附固定石墨切片，在机架上设置双滑轨及打磨组件调节抛光位置，初步获得较高的抛光精度；通过在小孔周围设置与小孔连通的环形沟道加强真空吸附效果，结合工作台凹陷区的设置，确保石墨切片在抛光过程不会发生位置偏移，提高抛光精度；通过抛光盘金属层、橡胶层及抛光层的三层结构设计，提高打磨组件的平稳性，进一步提高抛光精度。此外，本发明还具有操作简单、安全性高、抛光层易替换、抛光效率高的特点。

技术领域

本发明涉及石墨产品加工设备技术领域，具体涉及一种石墨切片的高精度抛光设备。

背景技术

石墨舟作为硅片的载体，是PECVD镀膜工艺中的重要工具，由若干石墨舟片组装而成。石墨舟片的加工首先需要将石墨块进行切割得到石墨切片，由于切割出的石墨切片表面粗糙，必须对其进行抛光处理，以降低其对后续硅片镀膜过程的影响。对于石墨切片的抛光，传统方式是采用人工操作，不仅费时费力，而且力度、位置都难以掌控，无法达到抛光要求。目前针对石墨材料也有一些自动抛光设备，但大多仅仅将抛光部件的运作进行自动化，仍旧需要人为不断地去调整石墨材料的位置，抛光精度和效率都很低。

公告号为CN204976288U的中国实用新型专利，公开了一种石墨板抛光机，由机座、工作台、抛光装置、驱动电机装置和传动装置五部分组成，通过在工作台四周设置小孔进行抽真空实现石墨板的吸附固定，通过传动装置使抛光装置能在工作台上方左右移动，实现对石墨板的往复抛光。该发明虽然有效减少了人工，大大提高了生产效率，但是该抛光装置始终在同一水平面进行抛光操作，无法适应石墨材料的个体差异，并且传动装置对于抛光装置位置的调整较为粗略，因此该发明无法达到石墨切片所要求的抛光精度。

发明内容

为解决上述问题，本发明提供了一种石墨切片的高精度抛光设备，能够确保石墨切片的高精度抛光，并且操作简单，安全性高，抛光效率大大提高。

为达到上述目的，本发明采用的具体技术方案如下：

一种石墨切片的高精度抛光设备，包括：

-机架，所述机架上设有两平行滑轨；

-工作台，通过所述滑轨安装于所述机架；所述工作台上表面开设有若干与真空管道连通的小孔，所述真空管道与真空发生器相连；

-打磨组件，包括升降座；所述升降座一侧表面与一竖直设置的电机固接，所述电机的输出端通过转轴与一水平的抛光盘相连；所述升降座另一侧表面与一安装座滑动连接，所述安装座位于所述工作台外侧并设于所述机架。

优选的，所述工作台下方设有一平行于所述滑轨并安装于所述机架的丝杠，所述丝杠上套设的支撑座与所述工作台固接。

优选的，所述安装座与所述机架滑动连接。

优选的，所述升降座通过其上表面的旋转部调节升降，所述旋转部外周标有刻度。

优选的，所述滑轨中的一个或者两个两端部设有固定于所述机架的感应件。

优选的，所述工作台表面设置有用于石墨切片放置和限位的凹陷区，所述小孔开设于所述凹陷区。

优选的，所述工作台表面位于小孔周围设有与所述小孔连通的环形沟道。

优选的，所述抛光盘自上而下包括金属层、橡胶层以及抛光层；所述金属层与所述转轴一体成型，所述抛光层与所述橡胶层之间的连接可拆卸。

优选的，所述抛光层与所述橡胶层的连接方式为插拔连接、滑动连接或者通过魔术贴连接。

优选的，还包括控制器，所述工作台、真空发生器以及打磨组件的启停开关。

本发明具有以下有益效果：