[发明专利]一种对位模块、对位设备、薄膜沉积生产线及控制方法

说明书

本发明公开了一种对位模块、对位设备、薄膜沉积生产线及控制方法。对位模块包括掩膜架，掩膜架被配置为承载掩膜板，掩膜架通过定位结构定位于外部设备，并与外部设备可拆卸连接；压板组件，活动设置于掩膜架一侧，压板组件能够压紧对位后的基片与掩膜板；磁吸组件，磁吸组件包括分别设置于掩膜架上的第一磁吸件，以及设置于压板组件上的第二磁吸件；压板组件压紧对位后的基片与掩膜板后，第一磁吸件压紧于压板组件，并与第二磁吸件相互吸合，以使被压紧后的基片与掩膜板贴合。本发明中的对位模块能够携带对位后的基片和掩膜板被单独移动和转运，且在转运过程中，对位模块能够保证对位后基片和掩膜板的位置精度。

技术领域

本发明涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，尤其涉及一种对位模块、对位设备、薄膜沉积生产线及控制方法。

背景技术

有机薄膜电致发光显示器件(OLED)，是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED照明产品的低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点，使其成为未来照明产品发展的主流趋势之一。

面板厂商选用的蒸镀材料在正式投产使用前，需要验证选择的蒸镀材料的性能以及工艺合理性。为此，需搭建小型蒸镀设备，或者为了提高验证工作的效率，而建成大型生产线。而大型生产线中一般需要设置多个有机蒸镀腔体，以及多个金属蒸镀腔体。上述有机蒸镀腔体以及金属蒸镀腔体，均采用的结构形式是：一个蒸镀腔体配置一套对位机构，对位机构用于对位基片和掩膜板，对位后的基片和掩膜板在蒸镀腔体内进行蒸镀，通过检测蒸镀后的效果，以判断材料的性能和工艺的合理性。

因每套蒸镀设备内均需要配置一套对位机构，对位机构的精度要求高，因此，成本也较高，这就导致蒸镀设备或一条大型生产线的成本很高。同时，因设置多个对位机构，导致整条生产线的结构复杂、成本高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种对位模块，该对位模块能够携带对位后的基片和掩膜板被单独移动和转运，在转运过程中，对位模块能够保证对位后基片和掩膜板的位置精度，不会出现二次误差。

本发明的另一目的在于提供一种对位设备，利用上述对位模块，在蒸镀之前，利用对位设备将基片和掩膜板进行自动化对位，节省后续工序中的对位时间，提高工作效率。

本发明的再一目的在于提供一种薄膜沉积生产线，利用上述对位设备，其中，对位模块流转使用，能够提升生产线的生产效率，同时能够降低生产线的生产成本。

本发明的又一目的在于提供一种控制方法，能够自动对位基片和掩膜板，实现自动对位，提高工作效率。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

提供一种对位模块，所述对位模块被配置为制备显示面板，所述对位模块包括：

掩膜架，所述掩膜架被配置为承载掩膜板，所述掩膜架通过定位结构定位于外部设备，并与所述外部设备可拆卸连接；

压板组件，活动设置于所述掩膜架一侧，所述压板组件能够压紧对位后的基片与所述掩膜板；

磁吸组件，所述磁吸组件包括分别设置于所述掩膜架上的第一磁吸件，以及设置于所述压板组件上的第二磁吸件；

所述压板组件压紧对位后的所述基片与所述掩膜板后，所述第一磁吸件压紧于所述压板组件，并与所述第二磁吸件相互吸合，以使被压紧后的所述基片与所述掩膜板贴合。

作为优选地，所述压板组件包括：

压板，所述压板活动设置于所述掩膜架的一侧，所述压板能够压设于所述基片上；

提升板，设置于所述压板的上方，且能够向靠近或远离所述压板的方向直线运动；

弹性连接件，设置于所述压板与所述提升板之间。

作为优选地，所述对位模块还包括：