[发明专利]晶棒固定治具

权利要求书

1.一种晶棒固定治具，适于将晶棒固定于固定板组件上，其特征在于，所述晶棒固定治具包括：

基台；

可转动底座，配置于所述基台上且可旋转地设置于所述基台，其中所述固定板组件适于定位于所述可转动底座上；

偏角调整组件，可伸缩地设置于所述基台上且位于所述可转动底座旁，而适于推拉所述可转动底座，以使所述可转动底座相对于所述基台转动；

顶定位组件，可移动地设置于所述可转动底座的上方，以靠近或远离所述可转动底座，其中所述晶棒适于放置在位于所述可转动底座上的所述固定板组件上，所述晶棒的延伸方向与所述固定板组件的长边延伸方向夹有角度，且所述晶棒位于所述可转动底座与所述顶定位组件之间并受所述顶定位组件向下推抵而紧密接触所述固定板组件；以及

设置于所述基台的偏角测量组件，其中所述偏角测量组件包括沿轴线伸缩的伸缩件，所述伸缩件抵靠于所述可转动底座，还包括侧定位组件，立起于所述基台，其中所述侧定位组件适于接触所述晶棒，所述侧定位组件包括侧墙、柱体、定位挡板以及间隔件，所述侧墙垂直地设置于所述基台，所述柱体沿着所述侧墙的法线方向设置于所述侧墙，所述定位挡板可移动地套设于所述柱体而适于靠近或远离所述侧墙，所述间隔件设置所述柱体上且位于所述侧墙与所述定位挡板之间，所述定位挡板适于接触所述晶棒。

2.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述柱体上设有转钮或可调式螺帽，所述定位挡板通过所述转钮或所述可调式螺帽转动而相对于所述侧墙移动。

3.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述偏角调整组件包括旋钮及连动于所述旋钮的杆端关节轴承，所述可转动底座包括凸柱，所述杆端关节轴承套设于所述凸柱，以驱动所述可转动底座旋转。

4.根据权利要求3所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及固定于所述底座本体的量角凸板，所述底座本体可旋转地设置于所述基台，所述凸柱设置于所述量角凸板，所述杆端关节轴承适于推拉所述量角凸板，以驱动所述底座本体旋转。

5.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及连接于所述底座本体的量角凸板，所述基台面对于所述可转动底座的上表面具有第一色块区与第二色块区，所述第一色块区与所述第二色块区位于所述量角凸板下方，所述第一色块区的颜色不同于所述第二色块区的颜色，当所述可转动底座沿顺时针方向旋转时，所述量角凸板暴露所述第一色块区而遮蔽所述第二色块区，当所述可转动底座沿逆时针方向旋转时，所述量角凸板暴露所述第二色块区而遮蔽所述第一色块区。

6.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括定位压钳，设置于所述基台且位于所述可转动底座旁，其中所述定位压钳适于瞬时地固定所述可转动底座相对于所述基台的位置。

7.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，还包括透明罩体，且所述透明罩体罩设所述偏角测量组件。

8.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述可转动底座还包括底座本体以及连接于所述底座本体的量角凸板，所述晶棒固定治具还包括固定于所述基台且位于所述偏角测量组件下方的替换量角凸板，其中所述替换量角凸板支撑所述偏角测量组件且适于替换所述量角凸板。

9.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述基台与所述可转动底座的其中一者具有基准孔，另一者包括凸轴，且所述可转动底座通过所述凸轴可旋转地设置于所述基准孔的搭配，以相对于所述基台转动。

10.根据权利要求1所述的晶棒固定治具，其特征在于，所述固定板组件包括硬板以及固定于所述硬板上的第一垫片，且所述硬板适于定位于所述可转动底座，所述第一垫片适于位于所述晶棒与所述硬板之间，所述基台面对于所述固定板组件的上表面具有辅助标记，且所述辅助标记对应于所述第一垫片的尺寸。