[发明专利]一种射频测试系统及其测试方法

权利要求书

1.一种射频测试系统，其特征是，包括：

用于提供频率及能量的射频发生模块；

用于保证施加能量稳定的射频匹配模块；

用于修正施加能量的修正模块；

用于测试输出能量的射频测试模块；

以及用于显示输出能量曲线的显示模块。

2.根据权利要求1所述的一种射频测试系统，其特征是：所述射频发生模块主要用于提供频率及能量，所述射频发生模块包括控制部、输出部、过滤部和侦测部；所述控制部根据测试系统需要的能量发出指令到电源，进行指令与输出能量比较，并同时进行调整；所述输出部根据测试系统的要求进行能量输出，不同型号的电源将决定频率的大小；所述过滤部进行对输出部能量输出进行功率信号过滤；所述侦测部对输出部输出能量进行侦测，同时进行显示并回馈给控制部。

3.根据权利要求1所述的一种射频测试系统，其特征是：所述射频匹配模块主要用于保证施加能量稳定，由于不同能量的电浆拥有不同的负荷因素，所述负荷因素包括压力、气体混合物以及工艺场所，因此射频匹配模块需要补偿相位改变所造成的误差，射频匹配模块使用负载电容以及调整叶片产生的积极相位误差进行补偿相位改变所造成的误差。

4.根据权利要求1所述的一种射频测试系统，其特征是：所述修正模块主要用于修正施加能量频率，不同通信模式对频率的稳定度要求不同，而传统频率稳定度一般指短期频率稳定度，短期频率的稳定度定义为：

=

其中，表示规定施加划分相等间隔，各间隔内实测的振荡频率分别为、、……，表示标称频率，=为第个时间间隔内实测的绝对频差，

=

此时当越小，频率准确度越高。

5.根据权利要求4所述的一种射频测试系统，其特征是：噪声系数是用来衡量射频部件电路对小信号的处理能力，在无线通信中，接收端的信号会变小，需要使用接收机的噪声系数尽量小，多级器件后电路的噪声系数可以表示为：

+++……+

表示噪声系数10表示第1级器件的增益，表示第级器件的增益，从上式可以看出，射频电路噪声系数跟各级器件的增益和噪声系数有关，当第一级增益够大时，后面各级器件对链路噪声系数影响很小，则链路噪声系数由第一级决定。

6.根据权利要求4所述的一种射频测试系统，其特征是：远端对信号的下变频过程与超外差接收工作原理相同，超外差信道选择性和高可靠性，是多种接收机首选结构，假设射频信号频率为本振频率为混合后中频频率为；在频率为处，经过混频后可以得到相同频率的中频信号，假设频率有较强的干扰，则会增加接收中频处噪声功率，进而进行降低信噪比。

7.根据权利要求1所述的一种射频测试系统，其特征是：所述射频测试模块包括能量感应部、模拟负载部、监视部；所述能量感应部主要进行对能量的感应，进而判断能量频率是否符合标准，同时将判断结果反馈给监视部；所述模拟负载部主要有阻抗及稳定作用，进而可以由能量感应部更好的感应能量输出频率标准；所述监视部主要用于监视能量频率幅度，进行对能量大小进行显示，显示的能量数据进可作为射频大小进行调整依据。

8.根据权利要求1所述的一种射频测试系统，其特征是：所述显示模块主要用于显示射频测试模块测试出的输出能量频率曲线，进而给测试人员直观视觉体验，同时在曲线的拐点处标记数值，同时给出预先录入的正常情况下的显示曲线，进而显示出二组曲线每个拐点的差值，进而标记是否在误差范围之内。