[发明专利]一种射频测试系统及其测试方法

说明书

本发明公开了一种射频测试系统及其测试方法包括：用于提供频率及能量的射频发生模块；用于保证施加能量稳定的射频匹配模块；用于修正施加能量的修正模块用于测试输出能量的射频测试模块；以及用于显示输出能量曲线的显示模块。本发明通过设计用于修正施加能量的修正模块，通过修正模块的镜像抑制进行降低性噪比，进而使得测试系统测试时的误差范围减小，进而使得测试数值更加精准，同时设计显示模块进行显示测出数值曲线，进而给出测试人员的视觉直观冲击，进而更容易辨认测出数值的范围。

技术领域

本发明涉及一种测试系统，具体是一种射频测试系统及其测试方法。

背景技术

射频（RF）是Radio Frequency的缩写，表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300kHz～300GHz之间。射频就是射频电流，简称RF，它是一种高频交流变化电磁波的简称。每秒变化小于1000次的交流电称为低频电流，大于10000次的称为高频电流，而射频就是这样一种高频电流。

射频（300K-300G）是高频(大于10K)的较高频段，微波频段（300M-300G）又是射频的较高频段。

然而现有的射频测试系统在进行对射频能量进行测试时，由于噪声系数的影响，测试系统在测量过程中无法消除噪声系数所带来的影响时，测试系统所测试出的射频频率曲线将出现误差，而此时测试系统的测试将是无意义测试。

发明内容

发明目的：提供一种射频测试系统及其测试方法，以解决现有技术存在的上述问题。

技术方案：一种射频测试系统及其测试方法，包括：

用于提供频率及能量的射频发生模块；

用于保证施加能量稳定的射频匹配模块；

用于修正施加能量的修正模块；

用于测试输出能量的射频测试模块；

以及用于显示输出能量曲线的显示模块。

在进一步的实施例中，所述射频发生模块主要用于提供频率及能量，所述射频发生模块包括控制部、输出部、过滤部和侦测部；所述控制部根据测试系统需要的能量发出指令到电源，进行指令与输出能量比较，并同时进行调整；所述输出部根据测试系统的要求进行能量输出，不同型号的电源将决定频率的大小；所述过滤部进行对输出部能量输出进行功率信号过滤；所述侦测部对输出部输出能量进行侦测，同时进行显示并回馈给控制部。

在进一步的实施例中，所述射频匹配模块主要用于保证施加能量稳定，由于不同能量的电浆拥有不同的负荷因素，所述负荷因素包括压力、气体混合物以及工艺场所，因此射频匹配模块需要补偿相位改变所造成的误差，射频匹配模块使用负载电容以及调整叶片产生的积极相位误差进行补偿相位改变所造成的误差，通过视频匹配模块进行稳定施加能量，进而避免施加能量时，出现紊乱现象，进而增加测试系统的此时精度。

在进一步的实施例中，所述修正模块主要用于修正施加能量频率，不同通信模式对频率的稳定度要求不同，而传统频率稳定度一般指短期频率稳定度，短期频率的稳定度定义为：

=

其中，表示规定施加划分相等间隔，各间隔内实测的振荡频率分别为、、……，表示标称频率，=为第个时间间隔内实测的绝对频差，

=

此时当越小，频率准确度越高。

在进一步的实施例中，噪声系数是用来衡量射频部件电路对小信号的处理能力，在无线通信中，接收端的信号会变小，需要使用接收机的噪声系数尽量小，多级器件后电路的噪声系数可以表示为：

+++……+