[发明专利]晶圆电镀设备

权利要求书

1.晶圆电镀设备，其特征在于，包括：

电镀液槽，所述电镀液槽设置有搅拌装置，用于搅拌电镀液；

盖子，所述盖子盖接在所述电镀液槽上；

晶圆，所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上；和

第一驱动机构，所述第一驱动机构与所述晶圆传动连接，用于驱动所述晶圆周向旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述盖子包括晶圆夹持件，所述第一驱动机构包括第一传动轴；

所述晶圆周向固定在所述晶圆夹持件上，所述晶圆夹持件周向固定在所述第一传动轴上；

所述第一驱动机构与所述第一传动轴传动连接，用于带动所述第一传动轴旋转，从而带动所述晶圆夹持机构和所述晶圆旋转。

3.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述盖子还包括安装座，所述安装座可盖接在所述电镀液槽上；所述第一驱动机构安装在所述安装座上。

4.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第一驱动机构包括第一旋转电机、第一主动轮和第一从动轮；

所述第一旋转电机的第一输出轴周向固定在所述第一主动轮上，用于带动所述第一主动轮旋转；

所述第一主动轮通过传动带带动所述第一从动轮旋转；

所述第一从动轮周向固定在所述第一传动轴上，用于带动所述第一传动轴旋转。

5.根据权利要求2所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述晶圆夹持件上设置有晶圆容置槽，所述晶圆固定安装在所述晶圆容置槽中。

6.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于，所述搅拌装置包括：第三驱动机构；和

可转动的承载装置；所述可转动的承载装置上安装有搅拌件；

其中，所述第三驱动机构与所述承载装置传动连接。

7.根据权利要求6所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述搅拌件包括第一搅拌件，所述第一搅拌件可转动地安装在所述承载装置上；

所述搅拌装置还包括第四驱动机构，所述第四驱动机构与所述第一搅拌件传动连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第四驱动机构为内齿轮；所述内齿轮通过偶数个行星齿轮与所述第一搅拌件传动连接。

9.根据权利要求8所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述内齿轮与所述第二行星齿轮相啮合，所述第二行星齿轮与第一行星齿轮与相啮合；

所述承载装置上固定设置有第一安装架；

所述第一安装架上安装有可转动的第一行星齿轮轴，所述第一行星齿轮及所述第一搅拌件安装于所述第一行星齿轮轴上；

所述第一安装架上安装有第二行星齿轮轴，所述第二行星齿轮可转动地安装于所述第二行星齿轮轴上。

10.根据权利要求9所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述搅拌件还包括第二搅拌件，所述内齿轮分别驱动所述第一搅拌件和所述第二搅拌件自转。

11.根据权利要求10所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述内齿轮通过奇数个行星齿轮与所述第二搅拌件传动连接。

12.根据权利要求11所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述承载装置上固定设置有第二安装架；

所述第二安装架上安装有可转动的第三行星齿轮轴；所述第三行星齿轮及所述第二搅拌件安装于第三行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第四行星齿轮轴；所述第四行星齿轮可转动地安装于所述第四行星齿轮轴上；

所述第二安装架上安装有第五行星齿轮轴；所述第五行星齿可转动地安装于所述第五行星齿轮轴上。