[发明专利]一种利用化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的工艺

权利要求书

1.一种利用化学气相沉积法制备纳米氮化钛粉体的工艺，其特征在于，步骤如下：

①、化学气相沉积反应器的构建

所述化学气相沉积反应器主要包括机体、反应箱体、活动槽以及进出料控制机构；

所述反应箱体设置于机体的顶部，反应箱体连接有1#进气管和2#进气管，分别用于向反应箱体中输送惰性气体或反应气体；所述反应箱体底部设有环状密封圈；

所述进出料控制机构主要包括驱动电机、转动丝杆、主动轮、移动板、从动轮、定位套环、压缩弹簧、支撑杆、固定板、盛料盒、固定座；

所述移动板的两端通过移动槽限制其上下移动轨迹；移动板上固定安装有个呈方形排布的支撑杆，支撑杆的顶部固定有呈圆形的盛料盒；盛料盒在其最高位置时，其通过环状密封圈围合；盛料盒在其最低位置时，可从机体的进出料口放入物料或取出反应完成的物料；所述移动板左右两侧各与一个转动丝杆的外表面螺纹连接，其内部设置有与转动丝杆相适配的螺纹，通过两个转动丝杆同时转动，可带动移动板向下移动；活动槽开设于机体的底部，活动槽内表面的两侧均连通有移动槽；通过两个移动槽分别对移动板的左右两侧起到限位作用；

所述驱动电机通过固定板固定安装在机体内部，驱动电机输出轴的一端固定连接有主动轮；通过驱动电机转动，可以同时带动主动轮进行转动；转动丝杆的外表面套接有从动轮，转动丝杆的外表面且位于从动轮的顶部设置有定位套环；两个从动轮外表面的一侧均通过皮带与主动轮外表面的一侧传动连接，定位套环与转动丝杆的外表面固定连接；

所述化学气相沉积反应器的两个转动丝杆的底部通过固定座支撑，固定座位于机体内侧底部；

所述化学气相沉积反应器的两个转动丝杆的外表面套接有压缩弹簧，压缩弹簧位于移动板的底部与活动槽内表面的底部之间，在移动板在向下移动时挤压压缩弹簧；

所述化学气相沉积反应器的所述机体底部的开设有放置槽，固定杆固定连接于放置槽内表面的顶部，固定杆的外表面套接有支撑座；放置槽共设置有四个，分别位于机体底部的四个拐角处，支撑座与固定杆的外表面活动连接；固定杆的外表面上位于支撑座的顶部套接有缓冲弹簧；

②、通过1#进气管持续通入氩气+氮气置换设备内部以形成惰性气氛，然后关闭1#进气管；

③、由进出料控制机构向化学气相沉积反应器的反应箱体中输送氢化钛颗粒，反应载气氨气由2#进气管通入反应器中，控制氨气的载气流量为200～500sccm，升温速率为100～150 ℃/h，升温至500～800℃进行化学气相沉积反应；

④、反应结束后，再次打开1#进气管，持续通入氩气+氮气作为淬冷气流进行冷却，待冷却至常温时，通过进出料控制机构排出反应得到的纳米氮化钛粉体。