[发明专利]一种平面光波导芯片及波导型单模光纤激光器

权利要求书

1.一种平面光波导芯片，其特征在于：包括平面光波导芯片主体（1），所述平面光波导芯片主体（1）用于对接耦合半导体激光器（2）发射的激光，所述平面光波导芯片主体（1）包括入光端（11）和出光端（10），从所述入光端（11）至所述出光端（10），波导宽度（12）呈梯度减小。

2.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：从所述入光端（11）至所述出光端（10），波导厚度（13）不变。

3.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述出光端（10）的波导厚度（13）和波导宽度（12）相等。

4.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述入光端（11）为比半导体发光腔面（28）的发射区（27）稍大的长条矩形。

5.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述激光从所述入光端（11）至所述出光端（10），由多模波导衍化为单模波导。

6.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述平面光波导芯片主体（1）采用石英玻璃材质制作而成。

7.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述入光端（11）的端面和/或所述出光端（10）的端面镀有增透膜。

8.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述入光端（11）的端面和/或所述出光端（10）的端面为平面，所述入光端（11）的端面和侧面、所述出光端（10）的端面和侧面与所述平面光波导芯片主体（1）的底面间互为直角。

9.根据权利要求1所述的平面光波导芯片，其特征在于：所述入光端（11）的宽度为100微米，所述出光端（10）的宽度为3微米，所述波导厚度（13）为3微米。

10.一种波导型单模光纤激光器，其特征在于：包括半导体激光器（2）、单模光纤接头（3）和平面光波导芯片主体（1），所述平面光波导芯片主体（1）为上述1-9中任意一项所述的平面光波导芯片主体（1）。