[发明专利]硅料装料方法在审
申请号: | 202010528707.5 | 申请日: | 2020-06-11 |
公开(公告)号: | CN113802181A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 王全志 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B11/00;C30B28/06 |
代理公司: | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人: | 卢春燕 |
地址: | 215000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 装料 方法 | ||
1.一种硅料装料方法,其特征在于,包括以下步骤:
在坩埚内设置沿上下方向延伸的至少一个安装件;
在装有所述安装件后的所述坩埚内装入硅料;
抽出所述安装件,使所述安装件的安装区域限定出第一气流通道。
2.根据权利要求1所述的硅料装料方法,其特征在于,在所述坩埚内设置沿上下方向延伸的至少一个所述安装件之前,还包括:
在坩埚内的底部铺设底部硅料,使所述底部硅料与所述坩埚的底部之间限定出顶部敞开的第一气流槽;
在所述第一气流槽的上方覆盖沿所述第一气流槽的长度方向彼此间隔开的多个覆盖硅料,以使多个所述覆盖硅料与所述第一气流槽之间限定出与所述第一气流通道连通的第二气流通道。
3.根据权利要求2所述的硅料装料方法,其特征在于,所述底部硅料与所述坩埚的底部之间限定出顶部敞开的多个所述第一气流槽,多个所述第一气流槽的一端连通、且另一端彼此间隔开;
所述安装件包括第一安装件和多个第二安装件,所述第一安装件设在多个所述第一气流槽的所述一端,每个所述第二安装件设在相邻两个所述覆盖硅料之间。
4.根据权利要求3所述的硅料装料方法,其特征在于,每个所述第一气流槽的所述另一端邻近所述坩埚的侧壁。
5.根据权利要求3所述的硅料装料方法,其特征在于,多个所述第一气流槽的所述另一端沿周向均匀间隔设置。
6.根据权利要求3所述的硅料装料方法,其特征在于,多个所述第一气流槽呈“十”字形或“米”字形。
7.根据权利要求2-6中任一项所述的硅料装料方法,其特征在于,所述坩埚内设有多个所述安装件,每个所述安装件的安装区域限定出一个所述第一气流通道,多个所述第一气流通道沿所述第一气流槽的长度方向间隔设置,多个所述第一气流通道中的至少一个邻近所述坩埚的侧壁。
8.根据权利要求2-6中任一项所述的硅料装料方法,其特征在于,每个所述第一气流槽的宽度为d1,每个所述第一气流通道的最大宽度为d2,所述底部硅料、所述覆盖硅料和所述硅料的平均直径为d,其中,所述d1、d2、d满足:d1≤d,d2≤d。
9.根据权利要求8所述的硅料装料方法,其特征在于,所述d1、d2进一步满足:10mm≤d1≤30mm,10mm≤d2≤30mm。
10.根据权利要求1-6中任一项所述的硅料装料方法,其特征在于,每个所述安装件为实心结构或中空管状结构。
11.根据权利要求1-6中任一项所述的硅料装料方法,其特征在于,每个所述安装件的横截面形状为圆形、椭圆形、长圆形或多边形。
12.根据权利要求1-6中任一项所述的硅料装料方法,其特征在于,所述安装件为聚丙烯件、钼件或钨件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司,未经苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;包头阿特斯阳光能源科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010528707.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。