[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202010553359.7 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN112179557B | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 添田将;石原卓也;关根正志 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L7/08 | 分类号： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种压力传感器，其特征在于，具备：
膜片，其能够位移并以受压面承受测定对象气体的压力；以及
测定部，其测定所述膜片的位移；
所述膜片的所述受压面在化学上呈惰性状态，
所述膜片的所述受压面通过形成有层状物质而在化学上呈惰性状态。
2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，
所述膜片的所述受压面为不易吸附上所述气体的分子的状态。
3.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述测定部具有：
可动电极，其形成于所述膜片的可动区域内；以及
固定电极，其以与所述可动电极相对的方式形成,
通过测量所述可动电极与所述固定电极之间的静电电容来测定所述膜片的位移。
4.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述测定部具有以与所述膜片的可动区域及非可动区域相对的方式形成的反射膜或半反射膜，
以光学方式测定所述膜片的位移。
5.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，
所述测定部具有形成于所述膜片上的压阻区域，
通过测量所述膜片的形变来测定所述膜片的位移。
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