[发明专利]硅基有机电致发光显示基板及其制作方法、显示面板在审
申请号: | 202010580548.3 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN111682051A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | 段东东;陈小川;王辉;杨盛际;卢鹏程;申晓斌;王宇;袁雄;童慧;黄冠达 | 申请(专利权)人: | 昆明京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 顾丽波;姜春咸 |
地址: | 650211 云南*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 电致发光 显示 及其 制作方法 面板 | ||
1.一种硅基有机电致发光显示基板,包括硅基基底以及位于所述硅基基底上阵列排布的像素单元,其中,每个所述像素单元中均包括:
第一电极,位于所述硅基基底的一侧;
发光层,其位于所述第一电极远离所述硅基基底的一侧;以及
第二电极,其位于所述发光层远离所述第一电极的一侧,
其中,至少部分所述像素单元的所述第二电极包括至少一组如下的复合结构:
第一金属膜层,其位于所述发光层远离所述第一电极的一侧;
导电散射块,其位于所述第一金属膜层远离所述发光层的一侧;以及
第二金属膜层,其位于所述导电散射块远离所述第一金属膜层的一侧。
2.根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述导电散射块的材料包括有机半导体材料和无机半导体材料,或者掺杂的无机半导体材料和掺杂的有机半导体材料。
3.根据权利要求2所述的显示基板,其中,所述有机半导体材料包括Alq3、Bphen和BCP,所述无机半导体材料包括碳材。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的显示基板,其中,所述导电散射块的材料的载子迁移率大于10-4cm2V-1s-1。
5.根据权利要求4所述的显示基板,其中,所述导电散射块的材料的光学能隙大于2.5eV。
6.根据权利要求1所述的显示基板,其中,所述第一金属膜层和所述第二金属膜层的材料包括镁银合金、银合金中的至少一种。
7.根据权利要求6所述的显示基板,其中,所述第二电极的厚度在12nm-20nm范围内,所述导电散射块的厚度在2nm-7nm范围内。
8.一种显示面板,包括权利要求1-7中任一项所述的显示基板以及用于驱动所述显示基板的驱动电路。
9.一种用于制作硅基有机电致发光显示基板的方法,包括:
提供硅基基底;
在所述硅基基底上形成第一电极;
在所述第一电极的远离所述硅基基底的一侧形成发光层,以及
在所述发光层远离所述第一电极的一侧形成第二电极,
其中,所述第二电极包括至少一组如下的复合结构:
第一金属膜层,其位于所述发光层远离所述第一电极的一侧;
导电散射块,其位于所述第一金属膜层远离所述发光层的一侧;以及
第二金属膜层,其位于所述导电散射块远离所述第一金属膜层的一侧。
10.根据权利要求9所述的方法,其中,形成所述第二电极包括:
在所述发光层上形成第一金属膜层;
在所述第一金属膜层上形成导电散射层,对所述导电散射层进行图案化处理以形成岛状的导电散射块;
在所述导电散射块上形成覆盖所述导电散射块的第二金属膜层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的