[发明专利]一种蒸镀装置及显示面板的制备方法

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸镀显示面板的发光材料层，所述第二掩膜版用于蒸镀所述显示面板的微共振腔调整层；

所述第一掩膜版包括第一开口区和第二开口区，所述第二掩膜版包括第三开口区和第四开口区，所述第一开口区和所述第三开口区均对应于所述显示面板的显示区，所述第二开口区和所述第四开口区均对应于所述显示面板的非显示区；

其中，所述第一开口区内的多个开口与所述第三开口区内的多个开口重合，所述第二开口区内的多个开口与所述第四开口区内的多个开口错开。

2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一开口区、所述第二开口区、所述第三开口区、以及所述第四开口区内的多个开口均阵列排布。

3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二开口区内的多个开口对应于所述显示面板的所述非显示区的一侧，所述第四开口区内的多个开口对应于所述显示面板的所述非显示区的另一侧。

4.如权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第二开口区内的多个开口对应于所述非显示区远离所述显示区的一侧，所述第四开口区内的多个开口对应于所述非显示区靠近所述显示区的一侧。

5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一掩膜版用于蒸镀红光发光材料，所述第二掩膜版用于蒸镀红光微共振腔调整材料。

6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述第一掩膜版用于蒸镀绿光发光材料，所述第二掩膜版用于蒸镀绿光微共振腔调整材料。

7.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括步骤：

提供一衬底层；

在所述衬底层上制备薄膜晶体管层；

在所述薄膜晶体管层上制备像素定义层；

使用蒸镀装置在所述像素定义层中蒸镀发光材料层和微共振腔调整层，其中，所述蒸镀装置包括第一掩膜版和第二掩膜版，所述第一掩膜版用于蒸镀所述发光材料层，所述第二掩膜版用于蒸镀所述微共振腔调整层；所述第一掩膜版包括第一开口区和第二开口区，所述第二掩膜版包括第三开口区和第四开口区，所述第一开口区和所述第三开口区均对应于所述显示面板的显示区，所述第二开口区和所述第四开口区均对应于所述显示面板的非显示区；所述第一开口区内的多个开口与所述第三开口区内的多个开口重合，所述第二开口区内的多个开口与所述第四开口区内的多个开口错开。

8.如权利要求7所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一开口区、所述第二开口区、所述第三开口区、以及所述第四开口区内的多个开口均阵列排布。

9.如权利要求8所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第二开口区内的多个开口对应于所述显示面板的所述非显示区的一侧，所述第四开口区内的多个开口对应于所述显示面板的所述非显示区的另一侧。

10.如权利要求8所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第二开口区内的多个开口对应于所述非显示区远离所述显示区的一侧，所述第四开口区内的多个开口对应于所述非显示区靠近所述显示区的一侧。