[发明专利]一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器

权利要求书

1.一种同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，包括泵浦源、第一分束镜、第二分束镜、第一光参量振荡器、产生三次谐波的谐波发生器、第一和频发生器、第二光参量振荡器和第二和频发生器，所述第一光参量振荡器包括第一非线性晶体，谐波发生器包括二倍频非线性晶体和三倍频非线性晶体，第一和频发生器包括第一和频非线性晶体，第二光参量振荡器包括第二非线性晶体，第二和频发生器包括第二和频非线性晶体；

泵浦源为Nd:YAG调Q激光器，中心波长为1064nm，泵浦源发出1064nm的泵浦光通过第一分束镜分为两路，一路光透过第一分束镜作为第一光参量振荡器的泵浦光，通过第一光参量振荡器的第一非线性晶体得到1550nm的激光输出；

另一路1064nm激光经过第二分束镜，又分为两路，分别为1064nm的第二路激光和第三路激光，第二路激光作为谐波发生器的基频光，经过二倍频非线性晶体产生532nm的倍频光，532nm的倍频光和二次倍频转换剩余的1064nm基频光经过三倍频非线性晶体进行和频，得到355nm的激光；

第三路激光作为第二光参量振荡器的泵浦光，通过第二非线性晶体得到1895nm的激光输出；

将第一光参量振荡器得到的1550nm激光和谐波发生器得到的355nm激光在第一和频非线性晶体内进行和频，得到289nm激光输出；将谐波发生器得到的355nm激光和第二光参量振荡器得到的1895nm激光在第二和频非线性晶体内进行和频，得到299nm激光输出。

2.根据权利要求1所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，三倍频非线性晶体沿光路方向的后方依次设置有第一45°平面镜、第三分束镜和第二45°平面镜；

沿光路方向第一光参量振荡器的后方设置有第三45°平面镜，第一和频发生器后方设置于第四45°平面镜；

沿光路方向第二光参量振荡器的后方设置有第五45°平面镜，第二和频发生器后方设置于第六45°平面镜；

355nm激光在第三分束镜分为两路，一路在第二45°平面镜进行反射，与1550nm激光在第三45°平面镜中汇合在一起，入射至第一和频发生器；另一路在与1895nm激光在第五45°平面镜中汇合在一起，入射至第二和频发生器。

3.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一光参量振荡器沿光路方向依次包括第一腔镜、第一非线性晶体、第一输出耦合镜和第七45°平面镜；

优选的，所述第二光参量振荡器沿光路方向依次包括第二腔镜、第二非线性晶体、第二输出耦合镜和第八45°平面镜。

4.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一分束镜和第二分束镜用于将一束激光分为两束激光，并均镀有对1064nm的增透膜，第三分束镜上镀有对355nm的增透膜。

5.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述二倍频非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，且该二倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm和532nm的增透膜；

优选的，所述三倍频非线性晶体为RDP、KTP、BBO、LBO等其他适用晶体中的一种，该三倍频非线性晶体两端面均镀有对1064nm、532nm和355nm的增透膜。

6.根据权利要求2所述的同时产生289nm和299nm激光的全固态紫外激光器，其特征在于，所述第一45°平面镜在355nm入射面镀有1064nm和532nm的高反膜，以及355nm的增透膜；

优选的，所述第二45°平面镜在355nm入射面镀有对355nm的高反膜。