[发明专利]一种测试精准的半导体器件用测试座在审
申请号: | 202010715083.8 | 申请日: | 2020-07-23 |
公开(公告)号: | CN111707921A | 公开(公告)日: | 2020-09-25 |
发明(设计)人: | 闵哲 | 申请(专利权)人: | 苏州朗之睿电子科技有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26;G01R1/04 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 朱斌兵 |
地址: | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 测试 精准 半导体器件 | ||
本发明涉及一种测试精准的半导体器件用测试座,包括:底座;陶瓷座,可上下移动的设置在底座内,且陶瓷座内开有凹槽;设置在凹槽内的定位陶瓷块,定位陶瓷块的顶部设有定位槽,且定位陶瓷块与凹槽的两侧形成了限位腔;底座的上方依次设有PCB基板和定位座;定位座的顶部设有盖板;定位座上设有两个凸台;测试片组件,通过可调一体式模组前后移动的设置在两个凸台之间;陶瓷座的顶部依次穿出PCB基板和定位座,且所述测试片组件设置在限位腔内,本发明能调制测试片针尖与芯片管脚接触的位置,还能通过陶瓷座配合压缩弹簧构成悬浮式配合产品下压时与测试片的接触缓冲提搞接触性能,有效控制整个测试产品的下压高度,对测试片和测试座形成保护。
技术领域
本发明涉及一种测试座,尤其涉及一种测试精准的半导体器件用测试座。
背景技术
在半导体芯片大规模研发及生产过程中均需要各类性能检测,芯片测试座为测试中关键部件,测试座功能是将芯片定位后通过线路板之间电子信号电流传输从而达到测试效果,测试座的质量和匹配程度直接影响测试判断准确性。
目前常见的测试座产品定位为普通吸嘴自动校正对位定位及盖板定位,测试片安装后使其固定形成芯片与测试片点对点接触,这样的结构存在如下缺点:1. 芯片管脚与测试片针尖点对点接触,会造成接触偏移,形成接触不良出现Open及Conta;2. 产品测试时定位不准确,接触有偏差影响测试精准度 ;3. 测试不稳定。
发明内容
本发明目的是为了克服现有技术的不足而提供一种增强了测试片针尖与芯片管脚接触的可调节性,可调节自由高度、精度质量高,测试稳定,测试良率和生产效率高的测试精准的半导体器件用测试座。
为达到上述目的,本发明采用的技术方案是:一种测试精准的半导体器件用测试座,包括:
底座;
陶瓷座,经由升降机构可上下移动的设置在底座内,且陶瓷座内开有凹槽;
设置在所述凹槽内的定位陶瓷块,在所述定位陶瓷块的顶部设有定位芯片的定位槽,且所述定位陶瓷块与所述凹槽的两侧形成了用于限位测试片组件的限位腔;
在所述底座的上方依次设有PCB基板和定位座;所述定位座的顶部设有盖板;
所述定位座上设有两个相对设置的凸台;
测试片组件,通过可调一体式模组前后移动的设置在两个所述凸台之间;
所述陶瓷座的顶部依次穿出PCB基板和定位座,且所述测试片组件设置在限位腔内;所述陶瓷座经由升降机构可上下移动的设置在底座、PCB基板和定位座之间。
进一步的,所述升降机构包括连接条,所述连接条的顶部开有固定槽,所述陶瓷座设置在固定槽内;所述连接条的底部设有导向柱,在所述导向柱的一侧开有导向槽,在所述导向槽内设有调节偏心轴;所述调节偏心轴设置在偏心轴调节杆上,所述偏心轴调节杆转动时带动调节偏心轴偏心转动,调节偏心轴驱动导向柱上下移动;所述偏心轴调节杆设置在底座的传动孔内,且所述偏心轴调节杆的端部设有一字槽。
进一步的,所述导向柱通过压缩弹簧设置在底座内。
进一步的,所述测试片组件包括对称设置的两个测试片机构;所述测试片机构包括通过绝缘隔片绝缘的两个测试片;所述测试片包括依次相互贴合的第一金属片、第一绝缘层、第二金属片和第二绝缘层,在所述第一金属片和第二金属片上设有与焊盘相连的焊盘端部以及与芯片管脚相连的针尖部。
进一步的,所述可调一体式模组包括两个固定架;两个所述测试片机构分别通过陶瓷限位销设置在两个所述固定架内;在所述固定架的一侧设有移动槽,在所述移动槽内设有偏心轴,所述偏心轴设置在调节传动轴上,在所述调节传动轴的顶部设有一字槽;所述调节传动轴带动偏心轴在移动槽内做偏心运动,从而驱动固定架前后移动;所述调节传动轴的另一端设置在凸台的容纳孔内。
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