[发明专利]具有复合材料的偏振器

说明书

改善偏振器的抗高温性、抗腐蚀性、抗氧化性、光学属性和可蚀刻性是有利的。复合偏振器材料可用于实现此目的。偏振器可包括经构造成用于使光偏振的偏振结构。偏振结构可包括反射肋，该反射肋是两种不同元素的复合材料。偏振结构可包括吸收肋，该吸收肋是两种不同元素的复合材料。偏振结构可包括透明层，该透明层是两种不同元素的复合材料。

技术领域

本发明一般而言涉及偏振器。

背景技术

偏振器材料具有许多所需的特性。这些特性包括窄范围的光学属性，例如反射率R、折射率n、消光系数k和电阻率。纳米尺寸的偏振结构通常通过蚀刻形成，因此可蚀刻性可以是另一个所需的特性。

偏振器用于图像投影机。更明亮和更小的投影机导致偏振器温度升高，并导致偏振器组件变形或熔化。因此，偏振器能够承受更高的温度也是有帮助的。

偏振结构可以是小巧精致，具有纳米尺寸的节距、线宽和线高。偏振器用于高性能要求的系统(例如图像投影机、半导体检查工具等)。偏振器中的小缺陷，例如腐蚀的肋或塌陷的肋，可以显著降低系统性能(例如，来自计算机投影机的图像失真)。肋的氧化不利地影响对比度而降低系统性能。因此，保护肋或其他偏振结构免受腐蚀和氧化可以是有帮助的。

发明内容

已经公认的是，改善偏振器的光学属性、可蚀刻性、抗高温性、抗腐蚀性和抗氧化性将是有利的。本发明针对满足这些需求的偏振器的各种实施例。每个实施例可满足这些需求中的一个、一些或全部。偏振器可以包括反射肋、吸收肋、透明层或所述前三者的组合，组合中的每一个都是两种不同元素的复合材料。

附图说明(图可能没按比例绘制)

图1是根据本发明的实施例的偏振器10的示意性剖面侧视图，偏振器10包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12。

图2是根据本发明的实施例的偏振器10的示意性立体图。

图3是根据本发明的实施例的偏振器30的示意性剖面侧视图，偏振器30包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12、在偏振结构12与基板11之间的薄膜32、以及在与偏振结构12相对的基板11的另一侧11_o上的薄膜33。

图4是根据本发明的实施例的偏振器40的示意性剖面侧视图，偏振器40包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12。

图5是根据本发明的实施例的偏振器40的示意性俯视图；

图6是根据本发明的实施例的偏振器60的示意性剖面侧视图，偏振器60包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12、在偏振结构12与基板11之间的薄膜32、以及在与偏振结构12相对的基板11的另一侧11_o上的薄膜33。

图7a是根据本发明的实施例的偏振器70a的示意性剖面侧视图，偏振器70a包括：被构造成用于使光偏振的偏振结构12、位于相邻的偏振结构12之间的通道13、以及在偏振结构12的远端12d的薄膜71，该薄膜71跨越通道13并且使所述通道充满空气。

图7b是根据本发明的实施例的偏振器70b的示意性剖面侧视图，偏振器70b包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12、位于相邻的偏振结构12之间的通道13、以及在偏振结构12的远端12_d并且填充通道13的薄膜72。

图7c是根据本发明的实施例的偏振器70c的示意性剖面侧视图，偏振器70c包括被构造成用于使光偏振的偏振结构12、以及在偏振结构12的远端12_d的多层薄膜73和74。