[发明专利]固态金属有机化合物转态方法及其转态系统

权利要求书

1.一种固态金属有机化合物转态方法，应用具有反应腔的有机金属化学气相沉积设备，其特征在于，所述的固态金属有机化合物转态的步骤包含：

(a)提供预先填充金属有机化合物的可替换式容器；

(b)提供加热恒温装置以放置所述的可替换式容器，以加热所述的金属有机化合物并将所述的金属有机化合物维持在液态金属有机化合物；

(c)第一载气通过所述的加热恒温装置输送至所述的可替换式容器的输入口；

(d)所述的第一载气通过流经所述的可替换式容器中的所述的金属有机化合物；

(e)所述的可替换式容器的输出口输出所述的第一载气与所述的金属有机化合物的饱和蒸气压至稳定模块；

(f)第二载气经过所述的加热恒温装置输送至所述的稳定模块，所述的第二载气来自于所述的有机金属化学气相沉积设备；以及

(g)在所述的稳定模块中混合所述的第二载气与所述的第一载气带出的所述的金属有机化合物的饱和蒸气压以形成混合气体并自设置在所述的加热恒温装置中的所述的稳定模块输出，又，所述的混合气体自所述的稳定模块输出且经由管路到达反应腔体之前，不会发生冷凝现象且输出至反应腔的金属有机化合物数量保持不变。

2.如权利要求1所述的固态金属有机化合物转态方法，其特征在于，所述的第二载气稀释所述的第一载气带出的所述的金属有机化合物的饱和蒸气压，以维持所述的液态金属有机化合物以固定数量输出至所述的反应腔。

3.如权利要求1所述的固态金属有机化合物转态方法，其特征在于，所述的温度恒定在误差值不大于正负0.1℃。

4.如权利要求1所述的固态金属有机化合物转态方法，其特征在于，所述的第一载气为氢气或氮气的惰性气体。

5.如权利要求1所述的固态金属有机化合物转态方法，其特征在于，所述的金属有机化合物为三甲基铟。

6.一种固态金属有机化合物转态系统，应用具有反应腔的有机金属化学气相沉积设备与可替换式容器，所述的可替换式容器具有第一容置空间和具有阀门、VCR的第一管件与第二管件，所述的第一容置空间分别地连接所述的第一管件的一端与所述的第二管件的一端，所述的第一容置空间供容置金属有机化合物，其特征在于，所述的固态金属有机化合物转态系统包含：

恒温装置，其具有第二容置空间、稳定模块、第三管体、第四管体、第五管体与第六管体，所述的第二容置空间供维持在预定温定且供容置所述的可替换式容器，所述的第三管体的一端连接所述的第一管体，第三管体的另一端连接所述的有机金属化学气相沉积设备的第一载气，所述的第四管体的一端连接所述的有机金属化学气相沉积设备的第二载气，第五管体的一端连接设备管路至所述的反应腔；以及，稳定模块设置于所述的第二容置空间，所述的稳定模块连接所述的第四管体的另一端、连接所述的第二管体与连接所述的第六管体以进入所述的稳定模块，所述的稳定模块混合所述的第二载气与所述的第一载气带出的金属有机的饱和蒸气压的混合气体，且输出至所述的第五管体的另一端。

7.如权利要求6所述的固态金属有机化合物转态系统，其特征在于，所述的第二载气稀释流经所述的稳定模块的所述的混合气体，以将所述的混合气体的浓度值控制在小于室温的饱和蒸气压浓度值，以维持液态金属有机化合物以固定数量输出至所述的反应腔。

8.如权利要求6所述的固态金属有机化合物转态系统，其特征在于，所述的第二容置空间为封闭空间，以将温度维持在预定温度。

9.如权利要求6所述的固态金属有机化合物转态系统，其特征在于，所述的第三管件与所述的第六管件具有VCR接头，用以连接所述的第一管件与所述的第二管件。

10.如权利要求6所述的固态金属有机化合物转态系统，其特征在于，所述的可替换式容器更包含加料口于所述的第二容置空间，以供补充所述的金属有机化合物。