[发明专利]一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关有效
| 申请号： | 202010852605.9 | 申请日： | 2020-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN111983827B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王钦华;袁志豪;曹冰;熊先杰;何耿;周浩;罗安林;陈王义博;徐立跃 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G02F1/09 | 分类号： | G02F1/09;G02F1/01 |
| 代理公司： | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 宫建华 |
| 地址： | 215000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 石墨 吸收 增强 红外 波段 开关 | ||
1.一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，包括：衬底，以及覆盖在所述衬底上的调制层，其特征在于：
所述调制层上通过光刻-镀膜设有介质层和金属纳米圆柱阵列，所述金属纳米圆柱阵列作为电极一，所述调制层上通过镀膜设有电极二，所述调制层为石墨烯层，至少一层所述石墨烯层直接生长或者转移至所述衬底上，所述石墨烯层上施加有垂直方向的直流偏置电压；
所述介质层的材料为光刻胶，所述光刻胶通过旋涂机旋涂于调制层的上方，形成一层均匀的光刻胶薄膜，通过二次双光束全息光刻工艺形成所述介质层；
所述金属纳米圆柱阵列的材料为金属铝；
所述电极二沉积在未被所述纳米圆柱阵列覆盖的所述调制层的上方。
2.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：利用镀膜工艺将所述金属铝均匀地沉积于所述介质层的上表面，且完全覆盖并包裹住介质层。
3.根据权利要求2所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述金属纳米圆柱阵列按二维阵列排列。
4.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述电极二的材料为金、银或铜金属。
5.根据权利要求4所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述衬底的材料为二氧化硅。
6.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述光开关的调制深度定义为：其中Ron和Roff分别为光开关打开和关闭时的反射率。
7.根据权利要求1所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述介质层的厚度为190nm。
8.根据权利要求7所述的一种基于石墨烯吸收增强的近红外宽波段光开关，其特征在于：所述金属纳米圆柱阵列的周期为250nm，直径为200nm。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州大学，未经苏州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010852605.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高精度机器人自动化移动系统
- 下一篇：一种耐压型潜水泵及其制备方法
